上海彌正針對(duì)半導(dǎo)體制造全流程,打造涵蓋超高純氮?dú)?、氫氣、氬氣、氟化物氣體等多品類的定制化氣體解決方案,覆蓋晶圓清洗、刻蝕、沉積、摻雜等**工藝。所有氣體純度均達(dá)到 5N-7N 級(jí)別,其中用于光刻工藝的特種氣體純度高達(dá) 9N 級(jí),金屬雜質(zhì)含量控制在 0.01ppb 以下,完全滿足不同制程芯片的生產(chǎn)要求。提供從氣體提純、包裝、運(yùn)輸?shù)浇K端輸送的全鏈條服務(wù),配備痕量雜質(zhì)檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室,每批次產(chǎn)品均通過(guò) GC-MS(氣相色譜 - 質(zhì)譜聯(lián)用儀)檢測(cè),確保各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)標(biāo);輸送管道采用 316L 不銹鋼材質(zhì),經(jīng)電解拋光與鈍化處理,內(nèi)壁粗糙度≤0.2μm,避免顆粒產(chǎn)生與氣體污染。某晶圓制造廠應(yīng)用該解決方案后,整體工藝缺陷率降低 40%,設(shè)備維護(hù)周期延長(zhǎng) 3 倍,年節(jié)約運(yùn)維成本超 500 萬(wàn)元。根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù),2023 年全球半導(dǎo)體用高純氣體市場(chǎng)規(guī)模達(dá) 58.7 億美元,上海彌正憑借精細(xì)的工藝適配性與穩(wěn)定的供應(yīng)能力,成為國(guó)內(nèi)多家晶圓廠的**供應(yīng)商,助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化發(fā)展。超高純氣體純度檢測(cè)采用氣相色譜法,準(zhǔn)確控制雜質(zhì)含量。浙江氯甲烷超高純氣體檢測(cè)分析

上海彌正超高純氨氣(6N 級(jí)純度),專為 OLED、Micro-LED 等新一代顯示技術(shù)打造,是顯示面板化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝的重心原料。通過(guò)催化分解與吸附提純工藝,將水、油、顆粒物等雜質(zhì)含量控制在 0.5ppb 以下,其中金屬雜質(zhì)(鐵、銅、鉀等)含量≤0.01ppb,避免影響面板像素發(fā)光效率與壽命。在 OLED 面板制造中,超高純氨氣作為氮源,參與有機(jī)發(fā)光層與電子傳輸層的沉積過(guò)程,直接影響像素點(diǎn)的發(fā)光均勻性;在 LCD 面板生產(chǎn)中,可用于硅 nitride 薄膜制備,提升面板抗劃傷性能與穩(wěn)定性。采用耐腐蝕特用氣瓶包裝,配備高精度流量控制系統(tǒng),支持連續(xù) 24 小時(shí)穩(wěn)定輸送,流量調(diào)節(jié)范圍 1-50L/min。某顯示面板企業(yè)應(yīng)用后,OLED 面板像素發(fā)光均勻度提升 3%,不良品率從 1.2% 降至 0.15%,面板使用壽命延長(zhǎng) 10%,完全適配 8.6 代及以上高世代線的大規(guī)模生產(chǎn)需求,助力顯示產(chǎn)業(yè)向高清化、柔性化升級(jí)。上海丙烷超高純氣體核磁共振成像超高純一氧化碳純度≥99.99%,是化學(xué)合成與材料制備的原料氣。

上海彌正率先采用 100% 綠電(光伏與風(fēng)電)驅(qū)動(dòng)的電解水制氫工藝,生產(chǎn)超高純氫氣(6N 級(jí)純度),實(shí)現(xiàn)從生產(chǎn)源頭的低碳化,助力客戶達(dá)成 “雙碳” 目標(biāo)。該工藝以純水為原料,通過(guò)可再生能源發(fā)電進(jìn)行電解,全程無(wú)化石燃料消耗,每立方米氫氣的碳足跡較傳統(tǒng)工藝降低 95% 以上,完全符合清潔能源發(fā)展趨勢(shì)。經(jīng)膜分離與催化脫氧組合提純后,氫氣純度穩(wěn)定在 99.9999%,雜質(zhì)含量≤1ppb,不僅可作為燃料電池汽車(chē)的重心燃料,為氫能交通提供動(dòng)力,也可廣泛應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體等行業(yè)的綠色制造流程。建立 “生產(chǎn) - 使用 - 回收” 的閉環(huán)體系,為使用客戶配套氫氣回收與純化裝置,回收率可達(dá) 85%,回收后的氣體經(jīng)處理可再次達(dá)到超高純標(biāo)準(zhǔn)循環(huán)使用。某新能源汽車(chē)企業(yè)應(yīng)用該綠電制氫產(chǎn)品后,其燃料電池系統(tǒng)的碳排放量降低 60%,獲得歐盟 “綠色氫能” 認(rèn)證;某光伏企業(yè)將其用于多晶硅還原,年碳排放減少 1.2 萬(wàn)噸,成功入選綠色工廠名單。
上海彌正憑借低溫精餾、吸附分離、膜分離、催化脫氧等多工藝集成提純技術(shù),實(shí)現(xiàn)超高純氣體 5N-9N 級(jí)純度的穩(wěn)定量產(chǎn),技術(shù)水平對(duì)標(biāo)國(guó)際先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)。針對(duì)不同氣體特性定制專屬提純方案:惰性氣體采用 “低溫精餾 + 吸附” 組合工藝,有效去除微量雜質(zhì);活性氣體通過(guò) “催化凈化 + 膜分離” 技術(shù),精細(xì)控制有害雜質(zhì)含量;特種氣體則采用 “低溫吸附 + 精餾” 工藝,確保純度與穩(wěn)定性雙達(dá)標(biāo)。配備國(guó)際先進(jìn)的痕量雜質(zhì)檢測(cè)設(shè)備,包括 GC-MS 氣相色譜 - 質(zhì)譜聯(lián)用儀、ICP-MS 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀等,可檢測(cè)出 ppb-ppt 級(jí)別的微量雜質(zhì),每批次產(chǎn)品均經(jīng)過(guò)至少 3 次全項(xiàng)檢測(cè),確保純度達(dá)標(biāo)。建立 1000㎡超潔凈生產(chǎn)車(chē)間,車(chē)間潔凈度達(dá) Class 100 級(jí),避免生產(chǎn)過(guò)程中氣體污染,提純?cè)O(shè)備采用自動(dòng)化控制系統(tǒng),操作精度達(dá) ±0.01%,實(shí)現(xiàn)全年 365 天連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn),氣體純度波動(dòng)范圍≤0.05%,為下游制造行業(yè)提供可靠的純度保障。超高純氣體輸送管道需鈍化處理,避免內(nèi)壁雜質(zhì)影響氣體純度。

上海彌正依托專業(yè)的氣體配比技術(shù),為半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療等行業(yè)提供定制化混合氣調(diào)配服務(wù),精細(xì)滿足不同工藝的個(gè)性化需求?;旌蠚馀浔群w二元、三元及多元組合,可根據(jù)客戶要求精細(xì)調(diào)控各組分濃度,濃度范圍從 1ppm 至 50%,配比精度達(dá) ±1%,其中關(guān)鍵組分濃度控制精度可達(dá) ±0.1ppm。采用先進(jìn)的靜態(tài)混合與動(dòng)態(tài)配比相結(jié)合的技術(shù),確?;旌蠚飧鹘M分均勻分布,無(wú)分層、無(wú)沉淀現(xiàn)象,穩(wěn)定性達(dá) 99.9%,有效期長(zhǎng)達(dá) 12 個(gè)月。支持多種氣體組合定制:半導(dǎo)體行業(yè)的蝕刻混合氣(如三氟化氮 + 氬氣)、光伏行業(yè)的摻雜混合氣(如磷烷 + 氮?dú)猓?、醫(yī)療行業(yè)的麻醉混合氣(如氧氣 + 笑氣)等,所有混合氣均根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)景選擇適配的包裝方式與輸送系統(tǒng)。配備專業(yè)的混合氣配方研發(fā)團(tuán)隊(duì),可根據(jù)客戶工藝升級(jí)需求快速調(diào)整配方,提供小批量試產(chǎn)與批量供應(yīng)服務(wù)。某精密制造企業(yè)應(yīng)用定制化混合氣后,生產(chǎn)效率提升 20%,工藝合格率提高 15%,產(chǎn)品一致性明顯改善,成為客戶工藝優(yōu)化的重心支撐。超高純氦氣與氖氣混合氣,用于低溫超導(dǎo)實(shí)驗(yàn)與特種光源。上海1.3-丁二烯超高純氣體
超高純硫化氫純度≥99.99%,用于金屬硫化物薄膜制備與化學(xué)分析。浙江氯甲烷超高純氣體檢測(cè)分析
上海彌正超高純硅烷(5N 級(jí)純度),是半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積(CVD)與光伏薄膜電池制造的**原料,以 “高純度 + 高穩(wěn)定性” 助力薄膜制備。采用絡(luò)合反應(yīng)與吸附提純工藝,將雜質(zhì)含量控制在 1ppb 以內(nèi),其中金屬雜質(zhì)與顆粒物雜質(zhì)均≤0.1ppb,避免影響薄膜沉積質(zhì)量。在半導(dǎo)體制造中,用于制備多晶硅、二氧化硅等薄膜,薄膜均勻性與致密度優(yōu)異;在光伏產(chǎn)業(yè)中,用于薄膜太陽(yáng)能電池的硅基薄膜沉積,提升電池轉(zhuǎn)換效率。采用特用耐腐蝕氣瓶包裝,配備防爆閥門(mén)與壓力監(jiān)測(cè)裝置,儲(chǔ)存與運(yùn)輸過(guò)程中嚴(yán)格控制溫度與壓力,避免氣體分解。某半導(dǎo)體企業(yè)應(yīng)用后,薄膜沉積均勻性提升 4%,芯片電性能穩(wěn)定性改善;某光伏企業(yè)使用后,薄膜電池轉(zhuǎn)換效率提升 0.6%,薄膜附著力增強(qiáng),完全滿足半導(dǎo)體與光伏產(chǎn)業(yè)的先進(jìn)制程要求。浙江氯甲烷超高純氣體檢測(cè)分析
上海彌正氣體有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中,一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取,不斷制造創(chuàng)新的市場(chǎng)高度,多年以來(lái)致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn),在上海市等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的商業(yè)口碑,成績(jī)讓我們喜悅,但不會(huì)讓我們止步,殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志,和諧溫馨的工作環(huán)境,富有營(yíng)養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開(kāi)拓創(chuàng)新,勇于進(jìn)取的無(wú)限潛力,上海彌正氣體供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來(lái),回首過(guò)去,我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績(jī)而沾沾自喜,相反的是面對(duì)競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越激烈的市場(chǎng)氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備,要不畏困難,激流勇進(jìn),以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來(lái)!