電弧沉積為何要引弧，華升納米是如何實現(xiàn)引?。?/h1>

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廣東華升納米科技股份有限公司2025-12-30

引弧是為了在固態(tài)陰極靶材與陽極之間，建立一個初始的、可以持續(xù)放電的導(dǎo)電通道。只有建立穩(wěn)定電弧，才能讓靶材通過蒸發(fā)/濺射釋放粒子，進(jìn)而在基材表面成膜。引弧的思想是：在陰極和陽極之間施加一個足夠高的電壓，以擊穿兩者之間的真空間隙。有兩種主流方式：1、機械引弧，使用一個臨時的、可移動的金屬引弧針（作為陽極）短暫地接觸或非常接近陰極靶材表面；2、高壓脈沖引弧，在陰極和陽極之間，疊加一個持續(xù)時間極短、電壓非常高的脈沖。華升納米采用自主研發(fā)的隱藏式機械引弧結(jié)構(gòu)，不會燒掉且易維護。

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