廣東華升納米科技股份有限公司2025-12-09
華升納米金屬表面處理經(jīng)驗(yàn):5×10?3Pa仍打火,90%與靶材表面氧化物導(dǎo)電性下降有關(guān),10%源于電源。診斷三步:①觀察靶面,若出現(xiàn)藍(lán)紫色斑塊或環(huán)狀絕緣帶,即為中毒氧化層,阻抗升高致弧放電;②切換電源到恒流模式,電壓若瞬間>800V并抖動,可確認(rèn)靶面問題;③用萬用表測靶殼對地電阻>5Ω,則排除電源接地不良。處理:華升納米金屬表面處理先降A(chǔ)r壓至0.2Pa、升功率1.5倍轟擊5min,濺射清潔毒層;再通1%H?,還原表面氧化物;若刻蝕環(huán)已深>3mm,立即翻面或換新靶。電源側(cè)檢查濾波電容、IGBT模塊,確認(rèn)無尖峰。按此執(zhí)行,打火次數(shù)由每爐30次降至2次,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定金屬表面處理批量生產(chǎn),為客戶提供高可靠金屬表面處理涂層解決方案,保障產(chǎn)線連續(xù)運(yùn)行。
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