金屬表面處理真空鍍膜機反應腔室壓力異常升高的原因呢？

廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-23

金屬表面處理真空鍍膜機反應腔室壓力異常升高，常由五類故障疊加：①真空泵性能衰退，抽速下降導致基礎真空劣化；②O-Ring、金屬墊片老化或安裝劃痕，引入可檢微漏，使N?、H?O持續(xù)滲入；③工藝氣體質量流量控制器（MFC）零點漂移，實際流量遠高于設定，瞬間過沖；④前驅體管道加熱不足，SiH?、TEOS等在閥口冷凝再汽化，形成脈沖式放氣；⑤腔壁或基片架沉積層過厚，吸附大量氣體，在等離子體轟擊下突然解吸。該金屬表面處理裝備出現(xiàn)此類異常，需立即停射頻、關氣路，用氦質譜檢漏并執(zhí)行bake-out，否則膜層均勻性、結合力驟降，造成整批金屬表面處理真空鍍膜零件報廢，并可能觸發(fā)聯(lián)鎖停機，延誤后續(xù)金屬表面處理生產節(jié)拍。

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