在光學(xué)鏡片的加工檢測(cè)中,全自動(dòng) 3D 平整度測(cè)量機(jī)的亞微米級(jí)測(cè)量精度滿足了高精度要求。針對(duì)球面鏡片的面型誤差檢測(cè),設(shè)備采用激光干涉法,生成的干涉條紋圖可分析出 0.01 波長(約 63 納米)的面型偏差,符合光學(xué)元件的嚴(yán)格質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。其定心夾具能確保鏡片的幾何中心與光學(xué)中心一致,測(cè)量結(jié)果的重復(fù)性誤差小于 0.005 波長。在某光學(xué)儀器廠的應(yīng)用中,設(shè)備幫助工程師發(fā)現(xiàn)鏡片的邊緣有 0.002mm 的塌邊,這種缺陷會(huì)導(dǎo)致成像時(shí)的邊緣模糊,通過調(diào)整研磨軌跡,使鏡片的合格率從 75% 提升至 98%,為高精度光學(xué)系統(tǒng)的性能提供了保障。?機(jī)身緊湊占地小,非接觸測(cè)量,不損傷被測(cè)物體。上海高性價(jià)比全自動(dòng)3D平整度測(cè)量機(jī)

在光纖連接器的檢測(cè)中,全自動(dòng) 3D 平整度測(cè)量機(jī)的微光學(xué)測(cè)量能力滿足了高精度要求。連接器的插芯端面平整度直接影響光信號(hào)傳輸,設(shè)備采用共聚焦顯微技術(shù),可測(cè)量 0.01 微米的端面凹陷,評(píng)估是否符合 IEC 61300 標(biāo)準(zhǔn)。其自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)能快速定位插芯的中心軸線,確保測(cè)量的準(zhǔn)確性。在某光纖器件廠的應(yīng)用中,設(shè)備發(fā)現(xiàn)某批次連接器的端面有 0.005 微米的球面偏差,這種微小偏差會(huì)導(dǎo)致光反射損耗增加,通過調(diào)整研磨工藝,使連接器的插入損耗降低了 0.2dB,提高了光通信系統(tǒng)的傳輸效率。?揭陽全自動(dòng)3D平整度測(cè)量機(jī)調(diào)試高清屏顯,數(shù)據(jù)清晰,方便查看測(cè)量結(jié)果。

在航空航天蒙皮生產(chǎn)中,全自動(dòng) 3D 平整度測(cè)量機(jī)采用大尺寸龍門式結(jié)構(gòu)與攝影測(cè)量技術(shù)。設(shè)備通過多臺(tái)高分辨率工業(yè)相機(jī)從不同角度拍攝蒙皮表面,利用攝影測(cè)量原理計(jì)算三維坐標(biāo),構(gòu)建蒙皮的三維模型,測(cè)量范圍可達(dá) 10m×5m,精度達(dá) ±0.1mm。系統(tǒng)可檢測(cè)蒙皮的平面度、曲率、拼接縫隙等參數(shù),同時(shí)識(shí)別表面劃傷、凹陷等缺陷。其智能分析軟件支持蒙皮的應(yīng)力分析,評(píng)估蒙皮在飛行過程中的承載能力。自動(dòng)上下料機(jī)構(gòu)采用桁架機(jī)械手與真空吸盤組合,確保蒙皮安全搬運(yùn)。設(shè)備支持與航空航天生產(chǎn)線的自動(dòng)化系統(tǒng)聯(lián)動(dòng),實(shí)現(xiàn)蒙皮的無人化檢測(cè)與生產(chǎn),提高生產(chǎn)效率與產(chǎn)品質(zhì)量。
半導(dǎo)體晶圓制造過程中,全自動(dòng) 3D 平整度測(cè)量機(jī)的作用不可或缺。晶圓表面的平整度直接關(guān)系到芯片制造的良品率和性能。測(cè)量機(jī)采用先進(jìn)的電子束掃描技術(shù),快速且精細(xì)地獲取晶圓表面的 3D 輪廓信息,對(duì)晶圓的平整度進(jìn)行***檢測(cè)。無論是晶圓的正面還是背面,都能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。在集成電路制造環(huán)節(jié),準(zhǔn)確的平整度測(cè)量有助于光刻工藝的精細(xì)實(shí)施,減少芯片制造過程中的缺陷,提高芯片性能和穩(wěn)定性。其優(yōu)勢(shì)在于測(cè)量精度可達(dá)納米級(jí)別,能夠滿足半導(dǎo)體制造行業(yè)對(duì)高精度測(cè)量的嚴(yán)苛要求。設(shè)備具備自動(dòng)化上下料功能,可與晶圓制造生產(chǎn)線無縫銜接,實(shí)現(xiàn) 24 小時(shí)不間斷測(cè)量,**提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本,助力半導(dǎo)體企業(yè)提升市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。3D 測(cè)量含邊緣平整度分析,識(shí)別塌邊與翹曲,保障工件裝配邊緣貼合。

汽車發(fā)動(dòng)機(jī)缸體的平面度檢測(cè)長期以來是行業(yè)難題,傳統(tǒng)的三點(diǎn)法測(cè)量只能反映局部平面狀態(tài),而全自動(dòng) 3D 平整度測(cè)量機(jī)通過全域掃描技術(shù)完美解決了這一痛點(diǎn)。設(shè)備采用的激光線掃描寬度可達(dá) 100mm,配合 50mm/s 的掃描速度,對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)缸體的整個(gè)結(jié)合面(約 400mm×300mm)的測(cè)量時(shí)間控制在 3 分鐘以內(nèi),獲取的三維點(diǎn)云數(shù)據(jù)量超過 5000 萬點(diǎn)。軟件系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)劃分測(cè)量區(qū)域,分別計(jì)算水道孔周邊、螺栓孔區(qū)域及密封面的平面度誤差,其中密封面的平面度要求需控制在 5 微米以內(nèi),以確保裝配后無機(jī)油滲漏。設(shè)備的防震花崗巖工作臺(tái)重達(dá) 500kg,能有效吸收車間的機(jī)械震動(dòng),而氣浮式導(dǎo)軌的摩擦力接近零,保證了掃描過程中的平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。在某汽車發(fā)動(dòng)機(jī)廠的應(yīng)用案例中,該設(shè)備取代了原來的人工千分表檢測(cè),將檢測(cè)效率提升 8 倍的同時(shí),不良品流出率從 0.3% 降至 0.05%,尤其對(duì)缸體鑄造時(shí)產(chǎn)生的應(yīng)力變形能提前預(yù)警,幫助工藝部門調(diào)整時(shí)效處理參數(shù),從源頭降低了廢品率。?支持自定義公差范圍,自動(dòng)判定合格與否,3D 報(bào)告直觀展示測(cè)量結(jié)果。臨滄全自動(dòng)3D平整度測(cè)量機(jī)基礎(chǔ)
能對(duì)微小部件高精度測(cè)量,滿足精密制造。上海高性價(jià)比全自動(dòng)3D平整度測(cè)量機(jī)
該設(shè)備為電子元器件封裝制造、集成電路制造、半導(dǎo)體芯片制造、電子線路板制造等行業(yè)提供服務(wù)。電子元器件封裝制造中,對(duì)封裝后的元器件進(jìn)行 3D 平整度測(cè)量,保障封裝質(zhì)量,提高電子元器件的可靠性。集成電路制造領(lǐng)域,對(duì)集成電路基板進(jìn)行測(cè)量,確保集成電路的性能穩(wěn)定。半導(dǎo)體芯片制造時(shí),對(duì)芯片晶圓進(jìn)行 3D 平整度測(cè)量,為半導(dǎo)體芯片制造提供高精度數(shù)據(jù)支持。電子線路板制造行業(yè),對(duì)線路板進(jìn)行測(cè)量,保障電子線路板的質(zhì)量與焊接效果。其優(yōu)勢(shì)在于,采用先進(jìn)的智能規(guī)劃算法,優(yōu)化測(cè)量路徑,減少設(shè)備運(yùn)行時(shí)間,提高工作效率。設(shè)備支持多工位同時(shí)測(cè)量,大幅提升生產(chǎn)能力。上海高性價(jià)比全自動(dòng)3D平整度測(cè)量機(jī)