(4)超精密機(jī)電系統(tǒng)器件加工。微機(jī)電系統(tǒng)(ME—MS)是從集成電路制造技術(shù)發(fā)展起來(lái)的新興機(jī)電產(chǎn)品,如微小型傳感器、執(zhí)行器等。硅光刻技術(shù)、LIGA技術(shù)和其它微細(xì)加工技術(shù)的生產(chǎn)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備都是超精密加工的產(chǎn)品。超精密加工技術(shù)的發(fā)展及分析超精密加工技術(shù)是以高精度為目標(biāo)的技術(shù),它必須綜合應(yīng)用各種新技術(shù),在各個(gè)方面精益求精的條件下,才有可能突破常規(guī)技術(shù)達(dá)不到的精度界限,達(dá)到新的高精度指標(biāo)。近20年來(lái)超精密加工技術(shù)在以下幾個(gè)方面有很大的進(jìn)展:①超精密加工機(jī)床技術(shù);②超精密加工刀具及加工工藝技術(shù);③超精密加工的測(cè)量與控制技術(shù);④超精密加工環(huán)境控制(包括恒溫、隔熱、潔凈控制等)。超精密加工機(jī)床的設(shè)計(jì)與制造技術(shù)超精密加工包括微細(xì)加工、超微細(xì)加工、光整加工、精整加工等加工技術(shù)。韓國(guó)技術(shù)超精密鉆孔
一般來(lái)說(shuō),拋光是指利用陶瓷泥漿進(jìn)行機(jī)械聚光,以及石英和藍(lán)寶石等主要使用的拋光。利用激光的拋光技術(shù)在技術(shù)上經(jīng)常被提及,但未能應(yīng)用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)。因此,微泰感受到了在精密切削加工后,為了校正細(xì)微的平面度,需要采用拋光技術(shù),通過(guò)與國(guó)外諸多研究機(jī)構(gòu)的合作,開(kāi)發(fā)出激光拋光設(shè)備,并將其應(yīng)用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)。激光拋光技術(shù)是微泰自主技術(shù),利用它進(jìn)行大面積拋光和研后微調(diào)、加工等多個(gè)領(lǐng)域。刀具方面,刀鋒可以加工到0.2微米厚度,刀片對(duì)稱度到達(dá)3微米以下,刀片邊緣線性低于5微米以下。我們特別專注于生產(chǎn)需要高難度、高公叉、高幾何公叉的產(chǎn)品,超精密零件,包括耗散零件、噴嘴、索引表和夾鉗,以及用于MLCC和半導(dǎo)體領(lǐng)域的各種精密零件,真空板??梢约庸ず椭圃旄鞣N材料,包括不銹鋼、硬質(zhì)合金、氧化鋯和陶瓷,刀具,刀片,超高精密治具,鏡頭切割器和刀具CL切割器、TCB拾取工具、折疊芯片模具、攝像頭模組的拾取工具,治具。特別是超薄,超鋒利的鏡頭切割器,光滑無(wú)毛邊地切割塑料鏡片的澆口,占韓國(guó)塑料鏡頭切割刀具90%以上的市場(chǎng),精密要求極高的攝像機(jī)傳感器與IC、PCB進(jìn)行熱壓接合用治具,也占韓國(guó)90%以上市場(chǎng)韓國(guó)技術(shù)超精密鉆孔超精密激光切割集切割、雕刻、鏤空等工藝于一身,可以滿足各類材料的切割打孔,以及其他工藝需求。

微泰,采用先進(jìn)的飛秒激光的高速螺旋鉆削自主技術(shù),進(jìn)行產(chǎn)業(yè)所需的各種形狀的微孔加工,MIN可做到5微米的微孔,公差可做到±2微米,孔距可做到0.3微米。還可以進(jìn)行MAX10度角的倒錐孔和各種幾何形狀的微孔,飛秒激光利用相對(duì)較短的激光脈沖,熱損傷很小,加工對(duì)象沒(méi)有物性變形層,表面平整,實(shí)現(xiàn)超精密微孔加工。微泰,利用飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨(dú)有ELID(電解在線砂輪修正技術(shù)),飛秒激光拋光技術(shù),生產(chǎn)各種超精密零部件。四百四十毫米平面方板,平坦度可以做到5微米以下,表面粗糙度RA達(dá)0.1微米以下,可以鉆5微米的孔,圓度可以達(dá)到95%以上,可以加工不同形狀和尺寸的微孔??梢约庸ざ喾N材料,包括PCD、PCBN、陶瓷、硬質(zhì)合金、不銹鋼、熱處理鋼、鉬,我們專注于生產(chǎn)需要高難度、高公叉和高幾何公叉的產(chǎn)品,并以30年的磨削技術(shù)、成型技術(shù)、鉆孔技術(shù)和激光技術(shù)為后盾,解決客戶的難題,力求客戶滿意。有問(wèn)題請(qǐng)聯(lián)系
高精度、高效率高精度與高效率是超精密加工永恒的主題。總的來(lái)說(shuō),固著磨粒加工不斷追求著游離磨粒的加工精度,而游離磨粒加工不斷追求的是固著磨粒加工的效率。當(dāng)前超精密加技術(shù)如CMP、EEM等雖能獲得極高的表面質(zhì)量和表面完整性,但以部分放棄加工效率為保證。超精密切削、磨削技術(shù)雖然加工效率高,但無(wú)法獲得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顧效率與精度的加工方法,成為超精密加工領(lǐng)域研究人員的目標(biāo)。半固著磨粒加工方法的出現(xiàn)即體現(xiàn)了這一趨勢(shì)。另一方面表現(xiàn)為電解磁力研磨、磁流變磨料流加工等復(fù)合加工方法的誕生。激光超精密加工可分為四類應(yīng)用,分別是精密切割、精密焊接、精密打孔和表面處理。

(2)超精密異形零件加工。例如航空高速多辨防滑軸承的內(nèi)滾道/激光陀螺微晶玻璃腔體,都是用超精密數(shù)控磨削加工而成的。陀螺儀框架與平臺(tái)是形狀復(fù)雜的高精度零件,是用超精密數(shù)控銑床加工的。(3)超精密光學(xué)零件加工。例如激光陀螺的反射鏡的平面度達(dá)0.05μm,表面粉糙度Rα達(dá)0.001μm、它是由超精密拋研加工、再進(jìn)行鍍膜而成,要求反射率達(dá)99.99%?!└呔让闇?zhǔn)系統(tǒng)要求小型化,所以用少量非球面鏡來(lái)代替復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)。這些非球鏡是用超精密車、磨、研、拋加工而成的。近期,二元光學(xué)器件的理論研究進(jìn)展很大,二元光學(xué)器件的制造設(shè)備是專門(mén)的超精密加工設(shè)備。在民用方面,隱形眼鏡就是用超精密數(shù)控車床加工而成的。計(jì)算機(jī)的硬盤(pán)、光盤(pán)、復(fù)印機(jī)等高技術(shù)產(chǎn)品的很多精密零件都是用超精密加工手段制成的。超精密飛秒激光技術(shù)是一種高精度、非接觸、非熱效應(yīng)的加工方法,適用于各種材料的微細(xì)加工。超硬超精密醫(yī)療器械零件
激光超精密切割的加工特點(diǎn)是速度快,切口光滑平整,一般無(wú)需后續(xù)加工;切割熱影響區(qū)小,板材變形小。韓國(guó)技術(shù)超精密鉆孔
精密激光打孔是激光微加工重要的一方面,其應(yīng)用范圍很廣,包括金屬鉆孔,陶瓷鉆孔,半導(dǎo)體材料鉆孔,玻璃鉆孔,柔性材料鉆孔等等,尤其是針對(duì)一些堅(jiān)硬易碎或者彈性較大的材料,如西林瓶打孔、安瓿瓶打孔、輸液袋打孔等氣密性檢測(cè)相關(guān),陶瓷,藍(lán)寶石,薄膜等優(yōu)勢(shì)尤為明顯。由于激光打孔具有效率高、成本低及綜合技術(shù)經(jīng)濟(jì)效益好等優(yōu)點(diǎn),已經(jīng)成為超精密激光打孔認(rèn)可設(shè)備。解決超精密激光打孔長(zhǎng)期的痛點(diǎn)。1、激光打孔機(jī)的技術(shù)已經(jīng)越來(lái)越成熟,不單單可以進(jìn)行打孔,還能切割、焊接一體化,屬于多功能激光一體機(jī)。激光打孔是利用高性能激光束對(duì)樣品進(jìn)行瞬時(shí)打孔,激光束打孔無(wú)需接觸,熱變形極小,所以也就解決了傳統(tǒng)機(jī)械打孔出現(xiàn)變形的問(wèn)題。2、激光打孔機(jī)具備加工速度快、效率高、直邊割縫小、割面光滑,可獲得大的深徑比和深寬比,激光打出來(lái)的孔徑均勻、大小一致,誤差極小。3、激光打孔機(jī)可在硬、脆、軟等各種材料上進(jìn)行精細(xì)打孔切割。節(jié)省人工,提高產(chǎn)能,傻瓜式操作無(wú)需儲(chǔ)備技術(shù)人才,操作簡(jiǎn)單輕易上手。超精密激光打孔機(jī)打孔速度非???,將高效能激光器與高精度的機(jī)床及控制系統(tǒng)配合,通過(guò)微處理機(jī)進(jìn)行程序控制,實(shí)現(xiàn)高效率打孔。韓國(guó)技術(shù)超精密鉆孔