納米級(jí)超精密MLCC垂直刀片

(2)超精密異形零件加工。例如航空高速多辨防滑軸承的內(nèi)滾道/激光陀螺微晶玻璃腔體，都是用超精密數(shù)控磨削加工而成的。陀螺儀框架與平臺(tái)是形狀復(fù)雜的高精度零件，是用超精密數(shù)控銑床加工的。(3)超精密光學(xué)零件加工。例如激光陀螺的反射鏡的平面度達(dá)0.05μm，表面粉糙度Rα達(dá)0.001μm、它是由超精密拋研加工、再進(jìn)行鍍膜而成，要求反射率達(dá)99.99%?！└呔让闇?zhǔn)系統(tǒng)要求小型化，所以用少量非球面鏡來(lái)代替復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)。這些非球鏡是用超精密車(chē)、磨、研、拋加工而成的。近期，二元光學(xué)器件的理論研究進(jìn)展很大，二元光學(xué)器件的制造設(shè)備是專(zhuān)門(mén)的超精密加工設(shè)備。在民用方面，隱形眼鏡就是用超精密數(shù)控車(chē)床加工而成的。計(jì)算機(jī)的硬盤(pán)、光盤(pán)、復(fù)印機(jī)等高技術(shù)產(chǎn)品的很多精密零件都是用超精密加工手段制成的。不受加工數(shù)量的限制，對(duì)于小批量加工服務(wù)，激光超精密加工更加便宜。納米級(jí)超精密MLCC垂直刀片

飛秒激光技術(shù)在超精密加工領(lǐng)域的應(yīng)用，如微機(jī)械加工、微電子制造等，其重點(diǎn)在于利用飛秒激光的高能量密度和精確控制能力，實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的精細(xì)加工。超精密加工技術(shù)是指加工精度達(dá)到亞微米甚至納米級(jí)別的制造技術(shù)，主要包括超精密車(chē)削、磨削、銑削和電化學(xué)加工等方法。這些技術(shù)廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件、航空航天、精密模具、半導(dǎo)體和醫(yī)療器械等領(lǐng)域，能夠滿(mǎn)足高精度、高表面質(zhì)量的產(chǎn)品需求。超精密鉆孔技術(shù)是一種高精度加工方法，能夠?qū)崿F(xiàn)微米級(jí)甚至亞微米級(jí)的加工精度。該技術(shù)廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、精密儀器等領(lǐng)域，主要用于加工微型孔、異形孔等復(fù)雜結(jié)構(gòu)。其加工設(shè)備通常包括數(shù)控機(jī)床、激光鉆孔系統(tǒng)等，并采用特種刀具和特殊控制系統(tǒng)以確保加工質(zhì)量。飛秒激光超精密?chē)娮旒す獬芗庸べ|(zhì)量的影響因素少，加工精度高，在一般情況下均優(yōu)于其它傳統(tǒng)的加工方法。

超精密加工技術(shù)市場(chǎng)是國(guó)家高技術(shù)集中的市場(chǎng)，它既是高代價(jià)、高投入的工藝技術(shù)，又是高增值、高回報(bào)的工藝技術(shù)，世界工業(yè)先進(jìn)國(guó)家都把它放在國(guó)家技術(shù)和經(jīng)濟(jì)振興的重要位置。試舉幾例。(1)超精密零件加工。例如慣性導(dǎo)航儀器系統(tǒng)中的氣浮陀螺的浮子及支架、氣浮陀螺馬達(dá)軸承等零件的尺寸精度、圓度和圓柱度都要求達(dá)到亞微米級(jí)精度;人造衛(wèi)星儀器軸承是真空無(wú)潤(rùn)滑軸承，其孔和軸的表面粗糙度Rα達(dá)到1nm，圓度和圓柱度均為納米級(jí)精度，這些零件都是用超精密金剛石刀具鏡面車(chē)削加工的。精密液壓控制系統(tǒng)中的精密伺服閥的閥芯與閥套的配合精度也常在亞微米等級(jí)，它是用超精密磨削方法加工的。

為了縮小產(chǎn)品體積、提高產(chǎn)品性能，需要高精度的微型零件。為此需要較迄今為止更為精密細(xì)微的加工技術(shù)。環(huán)境、裝置、設(shè)備、測(cè)量、測(cè)評(píng)、工具、材料、加工方法。本公司在推進(jìn)研發(fā)時(shí)周全考慮超精密·細(xì)微加工的所有相關(guān)要素，可承接金屬、樹(shù)脂、陶瓷等各種材料的加工。在半導(dǎo)體樹(shù)脂封裝的模具制造過(guò)程中積累的超精密加工技術(shù)為兼顧產(chǎn)品小型化和高性能兩方面的需求，要求制造用的模具和零件具有同樣的高精度和微型化。本公司在長(zhǎng)年積累的核心專(zhuān)利基礎(chǔ)上，與機(jī)床生產(chǎn)商共同開(kāi)發(fā)了自動(dòng)化設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了無(wú)人化加工。憑借先進(jìn)的加工設(shè)備以及成熟的技術(shù)，實(shí)現(xiàn)超硬度材料的亞微米級(jí)加工，不僅可生產(chǎn)半導(dǎo)體及LED模具，更可為所有精密加工提供整體解決方案。曲面復(fù)合加工以R形曲面型腔為例，在超精密加工中，本公司通過(guò)有規(guī)則地配置切削、研削與放電這三種不同的加工工藝，可打造細(xì)致的花紋，并可將每個(gè)加工面的高度差控制在1μm以下。超精密加工是指在維持精細(xì)公差，并于工件上去除材料、精加工等過(guò)程。

超精密加工的機(jī)理研究：包括微細(xì)加工機(jī)理研究；微觀(guān)表面完整性研究；在超精密范疇內(nèi)的對(duì)各種材料（包括被加工材料和刀具磨具材料）的加工過(guò)程、現(xiàn)象、性能以及工藝參數(shù)進(jìn)行提示性研究1。超精密加工的設(shè)備制造技術(shù)研究：如納米級(jí)超精密車(chē)床工程化研究；超精密磨床研究；關(guān)鍵基礎(chǔ)件，像軸系、導(dǎo)軌副、數(shù)控伺服系統(tǒng)、微位移裝置等研究；超精密機(jī)床總成制造技術(shù)研究1。超精密加工工具及刃磨技術(shù)研究：例如金剛石刀具及刃磨技術(shù)、金剛石微粉砂輪及其修整技術(shù)研究1。超精密測(cè)量技術(shù)和誤差補(bǔ)償技術(shù)研究：包含納米級(jí)基準(zhǔn)與傳遞系統(tǒng)建立；納米級(jí)測(cè)量?jī)x器研究；空間誤差補(bǔ)償技術(shù)研究；測(cè)量集成技術(shù)研究1超精密加工常見(jiàn)的有CNC車(chē)床、研磨加工、放電及線(xiàn)切割加工等，由于大部分都由程式輸入數(shù)據(jù)后加工。微米級(jí)超精密醫(yī)療器械零件

超精密飛秒激光技術(shù)是一種高精度、非接觸、非熱效應(yīng)的加工方法，適用于各種材料的微細(xì)加工。納米級(jí)超精密MLCC垂直刀片

微泰利用飛秒激光螺旋鉆孔技術(shù)生產(chǎn)各種精密零部件，使用激光進(jìn)行微孔加工（可加工至Φ0.01mm）·可以改變微孔形狀（圓形、橢圓形、方形）·激光加工不同于一般鉆孔，因此孔位置始終保持不變，因?yàn)榭资窃跓崽幚砗蠹庸さ?。納秒紅外激光器環(huán)鉆系統(tǒng)–功率：50W,脈沖能量：100uJ，頻率：100Hz飛秒綠光激光器先進(jìn)的螺旋鉆孔系統(tǒng)–功率：5W,脈沖能量：13uJ，頻率：100Hz·孔徑至少為20μm·能夠加工MAX0.3?孔距·MLCC貼合真空板·能夠處理多達(dá)800,000個(gè)孔·各種形狀的洞·同一截面的不規(guī)則孔·可混合加工不規(guī)則尺寸。利用先進(jìn)的飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨(dú)有ELID（電解在線(xiàn)砂輪修正技術(shù)），飛秒激光拋光技術(shù)，生產(chǎn)各種超精密零部件。用于半導(dǎo)體加工真空板薄膜真空板倒裝芯片工藝真空塊MLCC貼合用真空板薄膜芯片粘接工具，鏡頭模組組裝治具。用自主自主技術(shù)，飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)，加工出來(lái)的微孔不同于連續(xù)波激光，納秒激光，皮秒激光加工出來(lái)的微孔，平整，熱變形和物理變形很小，可以做到，1.孔徑至少為20微米；2.能夠加工MAX0.3微米孔距；3.MLCC貼合真空板4.在一塊真空板上，能夠處理多達(dá)八十萬(wàn)個(gè)孔；5.各種形狀的孔；6.同一截面的不規(guī)則孔；7.可混合加工不規(guī)則尺寸的孔納米級(jí)超精密MLCC垂直刀片