20世紀(jì)60年代為了適應(yīng)核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等技術(shù)的需要而發(fā)展起來(lái)的精度極高的一種加工技術(shù)。到80年代初,其加工尺寸精度已可達(dá)10納米(1納米=0.001微米)級(jí),表面粗糙度達(dá)1納米,加工的小尺寸達(dá) 1微米,正在向納米級(jí)加工尺寸精度的目標(biāo)前進(jìn)。納米級(jí)的超精密加工也稱為納米工藝(nano-technology) 。超精密加工是處于發(fā)展中的跨學(xué)科綜合技術(shù)。20 世紀(jì) 50 年代至 80 年代為技術(shù)開(kāi)創(chuàng)期。20 世紀(jì) 50 年代末,出于航天等技術(shù)發(fā)展的需要,美國(guó)率先發(fā)展了超精密加工技術(shù),開(kāi)發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點(diǎn)金剛石切削(Single point diamond turning,SPDT)技術(shù),又稱為“微英寸技術(shù)”,用于加工激光核聚變反射鏡、戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈及載人飛船用球面、非球面大型零件等。激光超精密加工采用電腦編程,可以把不同形狀的產(chǎn)品進(jìn)行材料的套裁,提高材料的利用率,降低企業(yè)材料成本。超快激光超精密刀具制造
超精密加工技術(shù),是現(xiàn)代機(jī)械制造業(yè)主要的發(fā)展方向之一。在提高機(jī)電產(chǎn)品的性能、質(zhì)量和發(fā)展高新技術(shù)中起著至關(guān)重要的作用,并且已成為在國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)中取得成功的關(guān)鍵技術(shù)。超精密加工是指亞微米級(jí)(尺寸誤差為0.3~0.03μm,表面粗糙度為Ra0.03~0.005μm)和納米級(jí)(精度誤差為0.03μm,表面粗糙度小于 Ra0.005μm)精度的加工。實(shí)現(xiàn)這些加工所采取的工藝方法和技術(shù)措施,則稱為超精加工技術(shù)。加之測(cè)量技術(shù)、環(huán)境保障和材料等問(wèn)題,人們把這種技術(shù)總稱為超精工程。超快激光超精密刀具制造超精密加工被定義為對(duì)細(xì)節(jié)的要求格外費(fèi)心的工業(yè)技術(shù),且需要掌握各種各樣的知識(shí),才能準(zhǔn)確操作。

微泰,生產(chǎn)各種用于MLCC和半導(dǎo)體的精密真空板。工業(yè)真空盤(pán)由于其吸氣孔較大,會(huì)對(duì)被吸物造成傷害,因此精密真空板的需求越來(lái)越大。薄膜等薄片型產(chǎn)品,如果孔較大,可能會(huì)造成產(chǎn)品損傷或壓花。因此市場(chǎng)需求超精密多微孔真空板。微泰生產(chǎn)并為工業(yè)領(lǐng)域提供高精度真空板,這些板由Φ0.1到Φ0.03的微孔組成。半導(dǎo)體行業(yè)普遍使用陶瓷真空板,但由于其顆粒大,很難控制平面度及均勻的壓力??蛻魧?duì)真空板的重要性日益凸顯。其尺寸各不相同,均勻壓力管理有所不同。但根據(jù)客戶的需求,我們生產(chǎn)并提供了質(zhì)量?jī)?yōu)、性能優(yōu)的真空板,并提供平面度0.001um和Φ0.03um的真空板(吸膜板,吸附板)。微泰產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體用真空卡盤(pán)、薄膜吸膜板,吸附板,倒裝芯片鍵合真空塊、MLCC堆疊VacuumPlate、MLCC印刷吸膜板。
我公司利用自主技術(shù),飛秒激光螺旋鉆孔技術(shù),可以在各種金屬,陶瓷,藍(lán)寶石,超硬材料,PCD上加工各種形狀的微孔,MIN可加工5微米的孔,MIN孔距可做到0.3微米,而且可以對(duì)孔壁進(jìn)行拋光,使之孔壁光滑。飛秒激光不同于納秒激光,微孔平整,熱變形和物理變形很小。這是納秒激光加工件,這是飛秒激光加工件。我公司飛秒激光螺旋鉆孔技術(shù)為電子,光學(xué),機(jī)械,化學(xué),醫(yī)療等不同行業(yè)的高精度微孔需求,提供高精度加工服務(wù)。上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰?,利用韓國(guó)先進(jìn)技術(shù),飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨(dú)有ELID(電解在線砂輪修正技術(shù)),飛秒激光拋光技術(shù),生產(chǎn)各種超精密零部件。MLCC方面有三星電機(jī),日本村田等很多企業(yè)的業(yè)績(jī),是韓國(guó)三星主要供應(yīng)商。主要生產(chǎn):1,MLCC吸膜板,2,各種MLCC刀具,刀片。3,MLCC掩模板陣列遮罩板。4,測(cè)包機(jī)分度盤(pán)。5,各種MLCC設(shè)備精密零件。MLCC吸膜板,用于在MLCC疊層機(jī)和印刷機(jī)上,通過(guò)抽真空移動(dòng)0.8微米的生陶瓷片。MLCC吸膜板與MLCC切割刀片在韓國(guó),技術(shù)和質(zhì)量方面有壓倒性優(yōu)勢(shì),有問(wèn)題請(qǐng)聯(lián)系上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰炯す獬艽蚩资菍⒐獍咧睆娇s小到微米級(jí),從而獲得高的激光功率密度,幾乎可以在任何材料實(shí)行激光打孔。

隨著電子和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展和生物、醫(yī)療產(chǎn)業(yè)等對(duì)超精密的需求,越來(lái)越需要能夠加工數(shù)微米大小目標(biāo)物的超精密加工技術(shù)。激光微加工是指利用激光束的高能量,在不對(duì)要加工的材料造成熱損傷的情況下,通過(guò)瞬間熔融和蒸發(fā)材料,以數(shù)微米至數(shù)納米顆粒的大小對(duì)材料進(jìn)行切割、鉆孔等加工。通常,微加工使用皮秒或納秒激光和超短脈沖激光,其波長(zhǎng)非常短或脈沖寬度非常短。超短脈沖激光,包括Excimer激光,廣泛應(yīng)用于眼科、玻璃和塑料的精密加工、精密零件的制造、地球科學(xué)和天體研究以及光譜和FBG工藝。據(jù)悉,用于微細(xì)加工的大部分激光都具有極高的脈沖能量和尖頭輸出功率和能量密度,因此無(wú)法通過(guò)光纜傳輸激光-光束,而且與能夠穩(wěn)定傳輸激光-光束的鏡片、鏡片等光學(xué)裝置一起精密處理要加工材料的技術(shù)也很重要。微加工技術(shù)廣泛應(yīng)用于超精密零件的加工、半導(dǎo)體領(lǐng)域和醫(yī)療、生物領(lǐng)域等,主要應(yīng)用于玻璃切割、Ceramic切割或鉆孔以及半導(dǎo)體晶片切割。微泰利用飛秒激光鉆削技術(shù)可加工HoleSizeMIN5微米微孔,孔間距可加工到3微米,用于MLCC疊層吸膜板,吸膜板MAX可加工80萬(wàn)微孔??杉庸じ鞣N形狀的孔,同一位置內(nèi)加工不規(guī)則的孔,可進(jìn)行不規(guī)則的混合孔超精密激光表面處理的特點(diǎn)是無(wú)需使用外加材料,只改變被處理材料表面層的組織結(jié)構(gòu),被處理件變形很小。韓國(guó)技術(shù)超精密貼片電容
超精密激光加工屬于非接觸加工,不會(huì)對(duì)材料造成機(jī)械擠壓或應(yīng)力。熱影響區(qū)和變形很小,能加工微小的零部件。超快激光超精密刀具制造
超精密加工技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)向更高精度方向發(fā)展:由現(xiàn)在的亞微米級(jí)向納米級(jí)進(jìn)軍,以期達(dá)到移動(dòng)原子的目的,實(shí)現(xiàn)原子級(jí)加工。向大型化方向發(fā)展:研制各類大型的超精密加工設(shè)備,以滿足航空、航天、通信和安全的需要。向微型化方向發(fā)展:以適應(yīng)飛速發(fā)展的微機(jī)械、集成電路的需要。向超精結(jié)構(gòu)、多功能、光、加工檢測(cè)一體化等方向發(fā)展:多采用先進(jìn)的檢測(cè)監(jiān)控技術(shù)實(shí)時(shí)誤差補(bǔ)償。新工藝和復(fù)合加工技術(shù)不斷涌現(xiàn):使加工的材料的范圍不斷擴(kuò)大1。超快激光超精密刀具制造