微米級超精密小孔

微泰憑借30年的精密加工技術和銳利刀具的邊緣技術，利用激光的微孔加工技術，生產(chǎn)了客戶所需的各種產(chǎn)品。除了零件，我們還生產(chǎn)和供應需要裝配的部件。與液晶面板（LCD）這樣的大尺寸元件相比，微泰更傾向于半導體/MLCC/新能源電池等更小、更精密的領域，并且在尚未成功國產(chǎn)化的元件的國產(chǎn)化方面也取得了很大成就。從塑料樹脂系列開始，我們生產(chǎn)和供應的材料幾乎與客戶提供的所有圖紙相符，包括不銹鋼、碳化鎢、陶瓷和MMC材料，沒有限制。應用于多個部件其他半導體/高水平平面度的金屬板、由微孔構成的金屬板、超精密加工件、多數(shù)部件組成的設備配件、組裝件、半導體/MLCC/電池行業(yè)所需超精密元件。真空卡盤，晶圓卡盤、模組組裝治具。倒裝芯片鍵合TOOL。超精密磨削技術可處理硬脆材料，如陶瓷、藍寶石，精度達亞微米級。微米級超精密小孔

美國是早期研制開發(fā)超精密加工技術的國家。早在1962年，美國就開發(fā)出以單點金剛石車刀鏡面切削鋁合金和無氧銅的超精密半球車床，其主軸回轉(zhuǎn)精度為 0.125μm，加工直徑為?100mm的半球，尺寸精度為±0.6μm，粗糙度為Ra0.025μm。1984年又研制成功大型光學金剛石車床，可加工重1350kg，?1625mm的大型零件，工件的圓度和平面度達0.025μm，表面粗糙度為Ra0.042μm。在該機床上采用多項新技術，如多光路激光測量反饋控制，用靜電電容測微儀測量工件變形，32位機的CNC系統(tǒng)，用摩擦式驅(qū)動進給和熱交換器控制溫度等。美國利用自己已有的成熟單元技術，只用兩周的時間便組裝成了一臺小型的超精密加工車床(BODTM型)，用刀尖半徑為5～10nm的單晶金剛石刀具，實現(xiàn)切削厚度為1nm (納米)的加工。盡管如此，美國還是繼續(xù)把微米級和納米級的加工技術作為國家的關鍵技術之一，這足以說明美國對這一技術的重視。韓國技術超精密半導體卡盤超精密飛刀銑削技術可實現(xiàn)大型光學鏡面的高效加工，保證面型精度。

飛秒激光利用相對較短的激光脈沖，熱損傷很小，加工對象沒有物性變形層，表面平整，可以實現(xiàn)超精密微孔加工。微泰利用先進的飛秒激光高速螺旋鉆削技術，用掃描儀，可以在任何位置自由調(diào)整聚焦點，還可以調(diào)節(jié)激光束的入射角，從而實現(xiàn)錐度、直錐度可以進行倒錐度等，所需的微孔的幾何加工。本系統(tǒng)通過調(diào)整入射角和焦距，可以進行產(chǎn)業(yè)所需的各種形狀的加工，可以進行5um到200um的精密孔加工。此外，還可以進行MAX10度角的倒錐孔和三維加工。激光加工完成后，用微孔檢測系統(tǒng)，將載入相應的坐標信息。通過視覺掃描，確認每個微孔的大小和位置信息，并將其識別合格還是不合格。收集完成后，按下返工按鈕即可進行再加工。本技術適用于，需要超精密加工的半導體制造設備零件、醫(yī)療領域設備及器材配件，各種傳感器相關配件，適用于光學相關設備和零件的精密加工領域。特別是用于MLCC制造中的薄膜片疊層用真空板微孔加工。有微孔加工需求，超精密加工需求，請聯(lián)系！

相信很多人在聽說超精密加工這個詞的時候，都會覺得它是一種神秘高新技術，卓精藝就帶領大家了解這項神秘技術的發(fā)展歷史。跟任何一種復雜的技術一樣，超精密加工技術經(jīng)過一段時間的發(fā)展，已經(jīng)逐漸被大眾所了解和熟悉。超精密加工的發(fā)展經(jīng)歷了如下三個階段。1、技術起源階段20世紀50年代至80年代，美國率先發(fā)展了以單點金剛石切削為主的超精密加工技術，用于航天、天文等領域激光核聚變反射鏡、球面、非球面大型零件的加工。2、民用發(fā)展階段20世紀80年代至90年代，進入民間工業(yè)的應用初期。美國的摩爾公司、普瑞泰克公司，日本的東芝和日立，以及歐洲的克蘭菲爾德等公司在國家的支持下，將超精密加工設備的商品化，開始用于民用精密光學鏡頭的制造。但超精密加工設備依然稀少而昂貴，主要以特殊機的形式訂制。在這一時期還出現(xiàn)了可加工硬質(zhì)金屬和硬脆材料的超精密金剛石磨削技術及磨床，但其加工效率無法和金剛石車床相比。超精密激光加工屬于非接觸加工，不會對材料造成機械擠壓或應力。熱影響區(qū)和變形很小，能加工微小的零部件。

利用自主自主技術，飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID（電解在線砂輪修正技術），飛秒激光拋光技術，生產(chǎn)各種超精密零部件。MLCC方面有三星電機等很多中外企業(yè)的業(yè)績，主要生產(chǎn)：1，MLCC貼合真空板，2，各種MLCC刀具，刀片。3，MLCC掩模板陣列遮罩板。4，MLCC索引表。5，各種MLCC設備精密零件。MLCC貼合真空板，用于在MLCC堆疊機中，通過抽真空移動0.8微米的生陶瓷片。真空板可以做到。1.孔徑至少為20微米。2.能夠加工MIN0.3微米孔距。3.MLCC貼合真空板上，能夠處理多達八十萬個孔。5.各種形狀的孔。6.同一截面的不規(guī)則孔。7.可混合加工不規(guī)則尺寸的孔。MLCC刀具方面，生產(chǎn)MLCC垂直刀片，MLCC輪刀，MLCC修剪刀片，其特點是1，刀刃鋒利。2，與現(xiàn)有產(chǎn)品相比，耐用性提高了50%。材料采用超細碳化鎢，具有1，高耐磨性。2，耐碎裂。MLCC生產(chǎn)工藝用輪刀，原材料是碳化鎢。應用于MLCC制造時用于切割陶瓷和電極片。并自主開發(fā)了滾輪非接觸式薄膜切割方法，其特點是。1，通過減少輪刀負載，延長使用壽命15到20倍。2，通過防止未裁切和減少異物來提高質(zhì)量（防止碎裂）。3，輪刀上下位置可調(diào)。4，根據(jù)氣壓實時控制張力，提高生產(chǎn)力（無需設定時間）5，降低維護成本（無張力變化）航空發(fā)動機葉片的超精密加工優(yōu)化氣動外形，提升推力與效率。微米級超精密小孔

超精密加工設備的導軌精度需達到納米級，確保進給運動的直線度。微米級超精密小孔

超精密加工技術市場是國家高技術集中的市場，它既是高代價、高投入的工藝技術，又是高增值、高回報的工藝技術，世界工業(yè)先進國家都把它放在國家技術和經(jīng)濟振興的重要位置。試舉幾例。(1)超精密零件加工。例如慣性導航儀器系統(tǒng)中的氣浮陀螺的浮子及支架、氣浮陀螺馬達軸承等零件的尺寸精度、圓度和圓柱度都要求達到亞微米級精度;人造衛(wèi)星儀器軸承是真空無潤滑軸承，其孔和軸的表面粗糙度Rα達到1nm，圓度和圓柱度均為納米級精度，這些零件都是用超精密金剛石刀具鏡面車削加工的。精密液壓控制系統(tǒng)中的精密伺服閥的閥芯與閥套的配合精度也常在亞微米等級，它是用超精密磨削方法加工的。微米級超精密小孔