超精密加工技術市場是國家高技術集中的市場,它既是高代價、高投入的工藝技術,又是高增值、高回報的工藝技術,世界工業(yè)先進國家都把它放在國家技術和經(jīng)濟振興的重要位置。試舉幾例。(1)超精密零件加工。例如慣性導航儀器系統(tǒng)中的氣浮陀螺的浮子及支架、氣浮陀螺馬達軸承等零件的尺寸精度、圓度和圓柱度都要求達到亞微米級精度;人造衛(wèi)星儀器軸承是真空無潤滑軸承,其孔和軸的表面粗糙度Rα達到1nm,圓度和圓柱度均為納米級精度,這些零件都是用超精密金剛石刀具鏡面車削加工的。精密液壓控制系統(tǒng)中的精密伺服閥的閥芯與閥套的配合精度也常在亞微米等級,它是用超精密磨削方法加工的。光學元件依賴超精密加工保證表面粗糙度,提升光傳輸效率與成像質(zhì)量。微加工超精密真空卡盤
微泰使用激光加工超精密幾何產(chǎn)品??梢詫Ω鞣N材料(包括PCD、PCBN、陶瓷膜、硬質(zhì)合金、不銹鋼、熱處理鋼和鉬)進行精細加工。在工業(yè)加工中,沒有激光,很難實現(xiàn)。然而,典型的激光加工機的加工質(zhì)量主要取決于激光成形加工,而激光成形加工的精度只有±0.1mm。這是因為激光是以切割為主的行業(yè)。相比之下,微泰加工技術非常成熟,生產(chǎn)和供應精度高、質(zhì)量高的激光加工產(chǎn)品。應用于PCD嵌件、斷屑漕、激光固定板、Ink-cup板、MLCC測包機分度盤。微米級超精密真空板半導體制造中的晶圓劃片通過超精密加工實現(xiàn)高精度切割,提升芯片良率。

20世紀60年代為了適應核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等技術的需要而發(fā)展起來的精度極高的一種加工技術。到80年代初,其加工尺寸精度已可達10納米(1納米=0.001微米)級,表面粗糙度達1納米,加工的小尺寸達 1微米,正在向納米級加工尺寸精度的目標前進。納米級的超精密加工也稱為納米工藝(nano-technology) 。超精密加工是處于發(fā)展中的跨學科綜合技術。20 世紀 50 年代至 80 年代為技術開創(chuàng)期。20 世紀 50 年代末,出于航天等技術發(fā)展的需要,美國率先發(fā)展了超精密加工技術,開發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點金剛石切削(Single point diamond turning,SPDT)技術,又稱為“微英寸技術”,用于加工激光核聚變反射鏡、戰(zhàn)術導彈及載人飛船用球面、非球面大型零件等。
超精密加工技術具有多個特點,這些特點使得它在高精度、高質(zhì)量要求的制造領域中占據(jù)重要地位。以下是超精密加工的主要特點:1.高精度:超精密加工技術能夠?qū)崿F(xiàn)極高的加工精度,通??梢赃_到微米級甚至納米級。這種高精度加工能力滿足了航空、航天、精密儀器等領域?qū)Ω呔攘慵男枨?。通過采用先進的加工設備和工藝方法,超精密加工能夠精確控制零件的尺寸精度和形位精度。2.高表面質(zhì)量:超精密加工技術不僅關注零件的尺寸精度,還重視零件的表面質(zhì)量。通過優(yōu)化加工參數(shù)和工藝方法,超精密加工能夠獲得具有極低表面粗糙度和高度一致性的零件表面。這種高表面質(zhì)量的零件在光學、電子、醫(yī)療器械等領域具有應用。3.“進化”加工:在超精密加工過程中,有時可以利用低于工件精度的設備、工具,通過工藝手段和特殊的工藝裝備,加工出精度高于“母機”的工作母機或工件。這種“進化”加工能力體現(xiàn)了超精密加工技術的獨特優(yōu)勢。4.高靈活性:超精密加工技術具有***的適用性,可以與多種材料和多種加工工藝相結合。這種靈活性使得超精密加工能夠適應不同形狀、尺寸和材料的零件加工需求,滿足不同行業(yè)和不同應用的要求。光纖連接器的超精密加工保證接口對準精度,減少光信號傳輸損耗。

精密激光打孔是激光微加工重要的一方面,其應用范圍很廣,包括金屬鉆孔,陶瓷鉆孔,半導體材料鉆孔,玻璃鉆孔,柔性材料鉆孔等等,尤其是針對一些堅硬易碎或者彈性較大的材料,如西林瓶打孔、安瓿瓶打孔、輸液袋打孔等氣密性檢測相關,陶瓷,藍寶石,薄膜等優(yōu)勢尤為明顯。目前弘遠激光智能科技有限公司能夠?qū)崿F(xiàn)高深徑比的精密鉆孔,高效密集鉆孔,比如安瓿瓶、西林瓶打微米孔,打裂紋,輸液袋打微米孔、醫(yī)用霧化片打孔等等。超精密激光打孔因為其材料特殊,用以往的打孔機械如果掌握不好,打出來的孔會出現(xiàn)扁孔、多邊孔等不圓的情況,而且打出來的孔不光滑孔口毛邊很大,有的還需要進行二次加工才能使用。而且機械打孔目前不能實現(xiàn)微米級別打孔,隨著人們對打孔工藝的要求越來越精細,其傳統(tǒng)的機械加工方法已不能滿足各種打孔加工速度、質(zhì)量、深徑比等要求。特別是薄鋁板的打孔與切割,其要求更是越來越高,而激光打孔可以滿足許多加工的特殊要求。硬脆材料的超精密加工易產(chǎn)生裂紋,需采用特殊刀具與切削參數(shù)。納米級超精密薄膜芯片
超精密加工的測量需借助激光干涉儀等精密儀器,確保結果準確可靠。微加工超精密真空卡盤
超精密加工是指在微米級或納米級尺度上進行的加工技術,它能夠制造出具有極高精度和表面質(zhì)量的零件。這種加工技術廣泛應用于半導體制造、光學元件、醫(yī)療器械、航空航天等領域。超精密加工技術包括超精密車削、磨削、銑削、拋光等工藝,這些工藝要求使用高精度的機床設備、高質(zhì)量的刀具材料以及精細的加工參數(shù)控制。隨著科技的進步,超精密加工技術正向著更高的精度、更復雜的形狀和更廣泛的應用領域發(fā)展。超精密技術是指在制造和測量過程中達到極高的精度和精確度。這種技術廣泛應用于半導體制造、精密工程、航空航天、醫(yī)療設備等領域。超精密加工技術能夠?qū)崿F(xiàn)微米甚至納米級別的加工精度,而超精密測量技術則能夠檢測出極微小的尺寸變化和形狀誤差。隨著科技的發(fā)展,超精密技術在提高產(chǎn)品質(zhì)量、性能和可靠性方面發(fā)揮著越來越重要的作用。微加工超精密真空卡盤