飛秒激光在精密加工中的獨(dú)特能力與應(yīng)用,超越衍射極限的“超衍射”加工原理:利用多光子吸收的非線性特性,加工閾值非常陡峭,只有焦點(diǎn)中心強(qiáng)度好的區(qū)域才會(huì)發(fā)生改性,加工尺寸可以突破光學(xué)衍射極限,達(dá)到亞波長(zhǎng)甚至納米級(jí)別。應(yīng)用:微光學(xué)元件:制作衍射光學(xué)元件、微透鏡陣列、波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。防偽與裝飾:在材料內(nèi)部或表面制作亞微米結(jié)構(gòu),產(chǎn)生結(jié)構(gòu)色或特殊光學(xué)效果。光子器件:直接在光學(xué)材料內(nèi)部刻寫(xiě)光柵、耦合器。真正的三維(3D)內(nèi)部加工原理:對(duì)于透明材料(如玻璃、透明聚合物),飛秒激光只有在焦點(diǎn)處才能達(dá)到足夠高的強(qiáng)度引發(fā)非線性吸收,從而可以選擇性地在材料內(nèi)部任意位置進(jìn)行改性,而表面和路徑上的材料不受影響。應(yīng)用:微流控芯片:在玻璃或塑料內(nèi)部直接雕刻出復(fù)雜的三維微通道網(wǎng)絡(luò)。光數(shù)據(jù)存儲(chǔ):在玻璃內(nèi)部寫(xiě)入多層、高密度的數(shù)據(jù)點(diǎn),實(shí)現(xiàn)“5D存儲(chǔ)”。集成光學(xué):在透明基板內(nèi)部制造三維光波導(dǎo)、分束器、干涉儀。飛秒激光的脈沖寬度極短,峰值功率極高,利用飛秒激光加工金屬具有熱影響區(qū)小、加工精度高等優(yōu)點(diǎn)。北京高精密飛秒激光MLCC輪刀

飛秒激光技術(shù)優(yōu)勢(shì)與面臨的挑戰(zhàn)優(yōu)勢(shì)總結(jié):表較高精度:亞微米至納米級(jí)特征尺寸。表較高質(zhì)量:無(wú)熱損傷,邊緣質(zhì)量好。表較大靈活性:3D內(nèi)部加工,材料普適性強(qiáng)。非接觸、無(wú)工具磨損。挑戰(zhàn)與未來(lái)方向:成本:飛秒激光器及配套系統(tǒng)昂貴。效率:雖然單點(diǎn)精度極高,但大面積加工的效率仍是大規(guī)模生產(chǎn)的瓶頸。并行加工(如空間光調(diào)制器分束)是重要發(fā)展方向。工藝復(fù)雜性:需要深厚的知識(shí)進(jìn)行參數(shù)優(yōu)化和路徑規(guī)劃。過(guò)程監(jiān)測(cè):開(kāi)發(fā)實(shí)時(shí)反饋系統(tǒng),確保加工的一致性和可靠性。上海韓國(guó)加工飛秒激光小孔與一般的MCT鉆孔不同,飛秒激光加工具有熱處理后易于加工孔的優(yōu)點(diǎn)。

飛秒激光與材料相互作用的機(jī)理,與長(zhǎng)脈沖或連續(xù)激光有本質(zhì)區(qū)別:1.能量沉積極快(遠(yuǎn)快于熱擴(kuò)散):傳統(tǒng)激光(納秒、微秒級(jí)):激光能量首先加熱電子,電子通過(guò)碰撞將能量傳遞給晶格(原子),引起熔化、蒸發(fā)和熱影響區(qū)。這是一個(gè)熱加工過(guò)程。飛秒激光:脈沖持續(xù)時(shí)間遠(yuǎn)小于電子將能量傳遞給晶格的時(shí)間(~1皮秒到10皮秒)。能量被電子瞬間吸收,但晶格還來(lái)不及響應(yīng)。電子溫度急劇升高,通過(guò)庫(kù)侖爆破等方式直接將材料電離、剝離,幾乎不產(chǎn)生熱效應(yīng)。這被稱為 “冷加工” 。2.多光子吸收與非線性效應(yīng):飛秒激光的超高峰值功率,使得材料能同時(shí)吸收多個(gè)光子,激發(fā)到高能態(tài),從而可以加工對(duì)激光波長(zhǎng)原本透明的材料(如玻璃、藍(lán)寶石)。3.明確的燒蝕閾值:只有當(dāng)激光強(qiáng)度超過(guò)某個(gè)精確的閾值時(shí),材料才會(huì)被去除。這使得加工精度可以突破衍射極限,實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)別的精密加工。結(jié)果:幾乎無(wú)熱影響區(qū)、無(wú)熔融、無(wú)微裂紋、無(wú)材料濺射,實(shí)現(xiàn)了真正的“冷”精密去除。
飛秒激光切割機(jī)利用超短脈沖激光束對(duì)材料進(jìn)行精確切割。這種激光束具有極高的能量密度,能夠在極短的時(shí)間內(nèi)將材料熔化或蒸發(fā),從而實(shí)現(xiàn)切割。與傳統(tǒng)的切割方法相比,飛秒激光切割具有無(wú)接觸、無(wú)變形、無(wú)熱影響區(qū)等優(yōu)點(diǎn),能夠保證電子設(shè)備的精度和質(zhì)量。在電子設(shè)備制造中,飛秒激光切割機(jī)的應(yīng)用非常廣。例如,在手機(jī)制造中,飛秒激光切割機(jī)可以用于切割屏幕、電池等部件。這些部件需要極高的精度和穩(wěn)定性,而飛秒激光切割技術(shù)能夠滿足這些要求。此外,飛秒激光切割機(jī)還可以用于制造電路板、太陽(yáng)能電池板等電子元器件。這些元器件需要高精度的切割和焊接,而飛秒激光切割技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)這些要求,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。工業(yè)加工中常見(jiàn)的精密激光加工設(shè)備有激光切割、激光鉆孔、激光打標(biāo)、激光焊接、激光雕刻、3D激光打印等。

飛秒激光開(kāi)啟了“無(wú)刀手術(shù)”時(shí)代。眼科手術(shù)(:LASIK手術(shù)(飛秒激光制瓣):替代傳統(tǒng)的機(jī)械角膜刀,制作更好、更平滑的角膜瓣,安全性更高。全飛秒SMILE手術(shù):直接在角膜基質(zhì)層內(nèi)進(jìn)行透鏡狀切割,然后通過(guò)微切口取出,實(shí)現(xiàn)了真正的“微創(chuàng)”。白內(nèi)障手術(shù)(飛秒激光輔助):用于精確制作角膜切口、撕裂囊和前囊膜切開(kāi)、預(yù)劈核,大幅提高手術(shù)的可預(yù)測(cè)性。細(xì)胞與神經(jīng)科學(xué):雙光子顯微成像:利用飛秒激光進(jìn)行深層的高分辨率、無(wú)損傷三維成像。光鑷與細(xì)胞手術(shù):操縱細(xì)胞、細(xì)胞器,甚至進(jìn)行細(xì)胞內(nèi)手術(shù)。外科手術(shù):可用于極精密的切割,出血少,愈合快。飛秒激光通過(guò)透鏡聚焦激光可獲得高激光強(qiáng)度,因此只能在焦點(diǎn)附近形成微結(jié)構(gòu)。上海工業(yè)飛秒激光精密噴嘴
飛秒激光能量傳輸時(shí)間極短,加工過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生熱效應(yīng)。北京高精密飛秒激光MLCC輪刀
飛秒激光技術(shù)這是一種利用超短脈沖(飛秒量級(jí))激光進(jìn)行加工、測(cè)量的前沿技術(shù)。由于作用時(shí)間遠(yuǎn)小于材料中熱擴(kuò)散的時(shí)間(皮秒量級(jí)),能量在被加工材料吸收后,還來(lái)不及通過(guò)熱傳導(dǎo)影響周圍區(qū)域,材料就已通過(guò)直接電離(多光子吸收/隧道電離) 被去除或改性。這被稱為 “冷加工” 或 “無(wú)熱加工”。脈沖能量除以脈沖寬度。由于脈沖極短,即使單脈沖能量為毫焦耳級(jí)別,其峰值功率也可輕松達(dá)到太瓦(1012 瓦)甚至拍瓦(101? 瓦),相當(dāng)于全球電網(wǎng)功率的瞬時(shí)聚焦。北京高精密飛秒激光MLCC輪刀