電子束曝光解決微型燃料電池質(zhì)子傳導(dǎo)效率難題。石墨烯質(zhì)子交換膜表面設(shè)計(jì)螺旋微肋條通道,降低質(zhì)傳阻力同時(shí)增強(qiáng)水管理能力。納米錐陣列催化劑載體使鉑原子利用率達(dá)80%,較商業(yè)產(chǎn)品提升5倍。在5cm2微型電堆中...
該研究所在晶圓鍵合與外延生長(zhǎng)的協(xié)同工藝上進(jìn)行探索,分析兩種工藝的先后順序?qū)Σ牧闲阅艿挠绊?。團(tuán)隊(duì)對(duì)比了先鍵合后外延與先外延后鍵合兩種方案,通過(guò)材料表征平臺(tái)分析外延層的晶體質(zhì)量與界面特性。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),在特定...
晶圓鍵合革新腦疾病診斷技術(shù)。光聲融合探頭實(shí)現(xiàn)100μm分辨率血流成像,腦卒中預(yù)警時(shí)間窗提前至72小時(shí)。阿爾茲海默病診斷系統(tǒng)識(shí)別β淀粉樣蛋白沉積,準(zhǔn)確率94%。臨床測(cè)試顯示:動(dòng)脈瘤破裂風(fēng)險(xiǎn)預(yù)測(cè)靈敏度99...
在電子束曝光工藝優(yōu)化方面,研究所聚焦曝光效率與圖形質(zhì)量的平衡問(wèn)題。針對(duì)傳統(tǒng)電子束曝光速度較慢的局限,科研人員通過(guò)分區(qū)曝光策略與參數(shù)預(yù)設(shè)方案,在保證圖形精度的前提下,提升了 6 英寸晶圓的曝光效率。利用...
廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所依托其微納加工平臺(tái)的先進(jìn)設(shè)備,在電子束曝光技術(shù)研發(fā)中持續(xù)發(fā)力。該平臺(tái)配備的高精度電子束曝光系統(tǒng),具備納米級(jí)分辨率,可滿(mǎn)足第三代半導(dǎo)體材料微納結(jié)構(gòu)制備的需求??蒲袌F(tuán)隊(duì)針對(duì)氮化物半...
在晶圓鍵合技術(shù)的實(shí)際應(yīng)用中,該研究所聚焦材料適配性問(wèn)題展開(kāi)系統(tǒng)研究。針對(duì)第三代半導(dǎo)體與傳統(tǒng)硅材料的鍵合需求,科研人員通過(guò)對(duì)比不同表面活化方法,分析鍵合界面的元素?cái)U(kuò)散情況。依托微納加工平臺(tái)的精密設(shè)備,團(tuán)...
科研團(tuán)隊(duì)在晶圓鍵合的對(duì)準(zhǔn)技術(shù)上進(jìn)行改進(jìn),針對(duì)大尺寸晶圓鍵合中對(duì)準(zhǔn)精度不足的問(wèn)題,開(kāi)發(fā)了一套基于圖像識(shí)別的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)能實(shí)時(shí)捕捉晶圓邊緣的標(biāo)記點(diǎn),通過(guò)算法調(diào)整晶圓的相對(duì)位置,使對(duì)準(zhǔn)誤差控制在較小...
利用高分辨率透射電鏡觀察,發(fā)現(xiàn)量子點(diǎn)的位置偏差可控制在較小范圍內(nèi),滿(mǎn)足量子器件的設(shè)計(jì)要求。這項(xiàng)研究展示了電子束曝光技術(shù)在量子信息領(lǐng)域的應(yīng)用潛力,為構(gòu)建高精度量子功能結(jié)構(gòu)提供了技術(shù)基礎(chǔ)。圍繞電子束曝光的...
電子束曝光實(shí)現(xiàn)空間太陽(yáng)能電站突破。砷化鎵電池陣表面構(gòu)建蛾眼減反結(jié)構(gòu),AM0條件下光電轉(zhuǎn)化效率達(dá)40%。輕量化碳化硅支撐框架通過(guò)桁架拓?fù)鋬?yōu)化,面密度降至0.8kg/m2。在軌測(cè)試數(shù)據(jù)顯示1m2模塊輸出功...
電子束蒸發(fā)是目前真空鍍膜技術(shù)中一種成熟且主要的鍍膜方法,它解決了電阻加熱方式中鎢舟材料與蒸鍍?cè)床牧现苯咏佑|容易互混的問(wèn)題。同時(shí)在同一蒸發(fā)沉積裝置中可以安置多個(gè)坩堝,實(shí)現(xiàn)同時(shí)或分別蒸發(fā),沉積多種不同的物...
太赫茲通信系統(tǒng)依賴(lài)電子束曝光實(shí)現(xiàn)電磁波束賦形技術(shù)革新。在硅-液晶聚合物異質(zhì)集成中構(gòu)建三維螺旋諧振單元陣列,通過(guò)振幅相位雙調(diào)控優(yōu)化波前分布。特殊設(shè)計(jì)的漸變介電常數(shù)結(jié)構(gòu)突破傳統(tǒng)天線(xiàn)±30°掃描角度限制,實(shí)...
鍍膜機(jī)中的電子束加熱的方法與傳統(tǒng)的電阻加熱的方法相比較的話(huà)。電子束加熱會(huì)產(chǎn)生更高的通量密度,這樣的話(huà)對(duì)于高熔點(diǎn)的材料的蒸發(fā)比較有利,而且還可以使的蒸發(fā)的速率得到一定程度上的提高。蒸發(fā)鍍膜機(jī)在工作的時(shí)候...