實(shí)驗(yàn)室常用的真空泵有機(jī)械泵、渦輪分子泵、真空計(jì)，離子泵、鈦升華泵、低溫吸附泵、吸氫氣泵幾種，正是這些不同種類的泵一級(jí)級(jí)地抽，才能達(dá)到超高真空狀態(tài)。分子泵我們知道，空氣是由大量的氣體分子構(gòu)成的，含量比較高的是氮?dú)狻⒀鯕?，還有少量的二氧化碳、氫氣、水蒸氣、稀有氣體之類的。一個(gè)密閉容器中所含的氣體分子越少，它的真空度就越高，因此我們抽真空的目的就是盡可能地減少腔體中氣體分子的數(shù)目，這就是這些真空泵要做的事情。電容薄膜真空計(jì)是一種絕壓、全壓測(cè)量的真空計(jì)。怎樣真空計(jì)專賣店
值得注意的是，由于它是一種相對(duì)真空計(jì)，所以其測(cè)量結(jié)果對(duì)氣體種類具有一定的依賴性。其校準(zhǔn)曲線通常針對(duì)干燥的氮?dú)饣蚩諝膺M(jìn)行標(biāo)定。因此，在被測(cè)氣體成分發(fā)生較大變化時(shí)，需要對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行相應(yīng)的修正。此外，長(zhǎng)時(shí)間使用后，熱絲可能會(huì)因氧化而發(fā)生零點(diǎn)漂移，這要求我們?cè)谑褂脮r(shí)避免長(zhǎng)時(shí)間暴露于大氣或高壓強(qiáng)環(huán)境中，并可能需要通過調(diào)節(jié)電流來校準(zhǔn)零點(diǎn)位置熱偶真空計(jì)的規(guī)管構(gòu)造主要包括加熱燈絲C與D（通常采用鉑絲）以及用于測(cè)量熱絲溫度的熱電偶A與B（多采用鉑銠或康銅-鎳鉻合金）怎樣真空計(jì)專賣店真空計(jì)已經(jīng)隨著商業(yè)工業(yè)進(jìn)步，走進(jìn)平常生活緊密相關(guān)的領(lǐng)域。
那么仔細(xì)想想，當(dāng)我們喝牛奶的時(shí)候，喝口服液的時(shí)候，瓶子里的低氣壓狀態(tài)是不是都可以稱作“真空計(jì)”呢？更簡(jiǎn)單一點(diǎn)，用手堵住針管的一段，拉動(dòng)活塞，針管里面就是真空狀態(tài)。不可思議？沒關(guān)系，我們先來看看真空發(fā)現(xiàn)的歷史。小課堂早在1643年，意大利物理學(xué)家托里拆利（Torricelli）就做了一個(gè)***的大氣壓實(shí)驗(yàn)——托里拆利實(shí)驗(yàn)。他在一段封閉的玻璃管中裝滿**（Hg），然后將玻璃管倒扣在盛有**的小槽中，玻璃管中的**在重力作用下會(huì)下降，他發(fā)現(xiàn)，當(dāng)**柱高度下降到760mm時(shí)就不再下降，托里拆利認(rèn)為玻璃管上端的空隙就是“真空”狀態(tài)。同時(shí)這個(gè)實(shí)驗(yàn)也得出結(jié)論，一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓強(qiáng)約為760mm汞柱。
普通型熱陰極真空計(jì)的測(cè)量范圍限定在1.33×10-1至1.33×105Pa之間。在高壓強(qiáng)環(huán)境下，電子與氣體分子的頻繁碰撞導(dǎo)致電子流急劇增加，而低能碰撞則無法引發(fā)電離，進(jìn)而影響離子流與壓強(qiáng)之間的線性關(guān)系。另一方面，在極低的壓強(qiáng)條件下（低于1.33×10-1Pa），高速電子產(chǎn)生的軟X射線會(huì)引發(fā)離子收集極C的光電發(fā)射，從而引入與壓強(qiáng)無關(guān)的電流，破壞離子流I+與氣體壓強(qiáng)之間的線性關(guān)系，使電離真空計(jì)無法準(zhǔn)確測(cè)量真空室中的壓強(qiáng)。選擇合適的真空計(jì)是關(guān)鍵。所以測(cè)量時(shí)要特別注意被測(cè)量氣體種類和成分.否則會(huì)對(duì)真空計(jì)造成很大誤差。
冷陰極真空計(jì)（ColdCathodeGauge，如潘寧計(jì)）原理：基于高壓電場(chǎng)與磁場(chǎng)協(xié)同作用下的氣體放電效應(yīng)。結(jié)構(gòu)包含兩個(gè)陰極和一個(gè)陽(yáng)極，外加軸向磁場(chǎng)。高壓電場(chǎng)使陰極發(fā)射電子，電子在磁場(chǎng)中螺旋運(yùn)動(dòng)，增加與氣體分子的碰撞概率，導(dǎo)致電離。電離產(chǎn)生的正離子被陰極捕獲，形成離子電流，其大小與氣體分子密度成正比。特點(diǎn)：量程：通常為10?6Torr至10?3Torr，適合中高真空。優(yōu)點(diǎn)：無加熱元件，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、壽命長(zhǎng)。對(duì)振動(dòng)不敏感（適合航天等惡劣環(huán)境）。局限性：低真空下響應(yīng)慢（需足夠殘余氣體維持放電）。測(cè)量結(jié)果可能受磁場(chǎng)均勻性影響。本質(zhì)區(qū)別總結(jié)類型**物理效應(yīng)信號(hào)來源適用量程對(duì)氣體種類敏感性皮拉尼計(jì)熱傳導(dǎo)效應(yīng)金屬絲電阻變化低真空至中真空高（需校準(zhǔn)）熱陰極電離計(jì)氣體電離效應(yīng)離子電流高真空至超高真空低（可忽略）冷陰極計(jì)（潘寧）高壓電場(chǎng)+磁場(chǎng)放電效應(yīng)離子電流中高真空低。 電離真空計(jì)基于在一定條件下，待測(cè)氣體的壓力與氣體電離產(chǎn)生的離子流呈正比關(guān)系的原理制作的真空測(cè)量?jī)x器。怎樣真空計(jì)專賣店
零位法是一種補(bǔ)償法，具有較高的測(cè)量精度。目前在計(jì)量部門作為低真空副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)的就是采用零位法結(jié)構(gòu)。怎樣真空計(jì)專賣店
電離真空計(jì)的構(gòu)造與測(cè)量機(jī)制電離真空計(jì)是一種廣泛應(yīng)用于真空度測(cè)量的儀器，其工作原理基于氣體分子的電離。根據(jù)氣體電離源的不同，電離真空計(jì)可分為熱陰極和冷陰極兩大類。電離真空計(jì)通過氣體電離產(chǎn)生離子流測(cè)量壓強(qiáng)，類型多樣，適合不同真空度范圍。該儀器主要由三個(gè)電極組成：發(fā)射電子的燈絲作為發(fā)射極A，負(fù)責(zé)加速電子的柵極（或稱為加速極）B，以及收集離子的圓筒型電極C。電阻真空計(jì)，作為熱傳導(dǎo)真空計(jì)的一種，其工作原理是利用測(cè)量真空中熱絲的溫度來間接獲得真空度的大小。怎樣真空計(jì)專賣店
