可以看出雖然我們已經(jīng)抽到了超高真空，但是腔體內(nèi)的分子數(shù)還是很多很多，這就是為什么我們要在超高真空條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的原因。講了這么多，不知道你有沒(méi)有想過(guò)，我們是如何知道腔體內(nèi)的真空度有多高的呢？度量真空的儀器——真空計(jì)是的，就像我們有溫度計(jì)和濕度計(jì)一樣，我們也有測(cè)量真空度的儀器——真空計(jì)。我們已經(jīng)知道，真空度的高低是用壓強(qiáng)大小來(lái)衡量的，因此，真空計(jì)也是通過(guò)測(cè)量壓強(qiáng)的大小來(lái)反映真空度的。真空計(jì)根據(jù)其工作原理大致可以分為兩類：一類直接測(cè)量壓強(qiáng)的大小，稱為***真空計(jì)，例如U型真空計(jì)、壓縮式真空計(jì)；一類是通過(guò)測(cè)量與壓強(qiáng)有關(guān)的物理量，間接標(biāo)定壓強(qiáng)的數(shù)值，稱為相對(duì)真空計(jì)，例如熱傳導(dǎo)真空計(jì)、電離真空計(jì)。在實(shí)驗(yàn)室常用的一般是相對(duì)真空計(jì)。 真空計(jì)測(cè)量范圍壓力測(cè)量中，除極少數(shù)直接測(cè)量外，絕大多數(shù)是間接測(cè)量。發(fā)展真空計(jì)配件
電阻真空計(jì)的原理與應(yīng)用電阻真空計(jì)，作為熱傳導(dǎo)真空計(jì)的一種，其工作原理是利用測(cè)量真空中熱絲的溫度來(lái)間接獲得真空度的大小。在低壓環(huán)境下，氣體的熱傳導(dǎo)特性與壓強(qiáng)密切相關(guān)，因此，電阻真空計(jì)的關(guān)鍵在于如何準(zhǔn)確測(cè)量溫度參數(shù)并建立起電阻與壓強(qiáng)的對(duì)應(yīng)關(guān)系。該儀器的主要構(gòu)成部分包括規(guī)管中的加熱燈絲，通常采用電阻溫度系數(shù)較高的鎢絲或鉑絲。電阻真空計(jì)通過(guò)測(cè)量熱絲電阻變化來(lái)確定真空度，其結(jié)果依賴于氣體種類且存在測(cè)量范圍限制。測(cè)量范圍通常在105～10-2Pa之間。設(shè)備真空計(jì)平臺(tái)真空計(jì)可分為真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)兩大類。
電離真空計(jì)的構(gòu)造與測(cè)量機(jī)制電離真空計(jì)是一種廣泛應(yīng)用于真空度測(cè)量的儀器，其工作原理基于氣體分子的電離。根據(jù)氣體電離源的不同，電離真空計(jì)可分為熱陰極和冷陰極兩大類。電離真空計(jì)通過(guò)氣體電離產(chǎn)生離子流測(cè)量壓強(qiáng)，類型多樣，適合不同真空度范圍。該儀器主要由三個(gè)電極組成：發(fā)射電子的燈絲作為發(fā)射極A，負(fù)責(zé)加速電子的柵極（或稱為加速極）B，以及收集離子的圓筒型電極C。電阻真空計(jì)，作為熱傳導(dǎo)真空計(jì)的一種，其工作原理是利用測(cè)量真空中熱絲的溫度來(lái)間接獲得真空度的大小。
***與相對(duì)真空計(jì)的比較***真空計(jì)測(cè)量氣體壓強(qiáng)較為準(zhǔn)確，不受氣體成分影響，而相對(duì)真空計(jì)須與***真空計(jì)對(duì)比得出壓強(qiáng)值。在實(shí)際生產(chǎn)中，由于其校準(zhǔn)更為便捷，相對(duì)真空計(jì)應(yīng)用更為***。02電阻真空計(jì)◇工作原理電阻真空計(jì)通過(guò)測(cè)量熱絲的電阻變化來(lái)間接獲得真空度。在低壓環(huán)境下，氣體的熱傳導(dǎo)與壓強(qiáng)密切相關(guān)，因此，電阻真空計(jì)的關(guān)鍵在于如何準(zhǔn)確測(cè)量溫度參數(shù)并建立電阻與壓強(qiáng)的對(duì)應(yīng)關(guān)系。測(cè)量范圍及影響因素電阻真空計(jì)適用于測(cè)量較低至中等的真空度范圍。其測(cè)量范圍通常在105至10-2Pa之間。作為一種相對(duì)真空計(jì)，其測(cè)量結(jié)果會(huì)受到氣體種類的影響，因?yàn)樾?zhǔn)曲線通常是針對(duì)干燥的氮?dú)饣蚩諝庵贫ǖ?。電阻真空?jì)的長(zhǎng)期使用需避免氧化影響，通過(guò)定期校準(zhǔn)以確保準(zhǔn)確性。 真空計(jì)的種類有很多，適用范圍也各有不同。
《實(shí)時(shí)焦點(diǎn)測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見(jiàn)稿發(fā)布 真空計(jì)實(shí)時(shí)焦點(diǎn)測(cè)量?jī)x是一種采用敏感元件直接感應(yīng)射線強(qiáng)度分布從而測(cè)量X射線機(jī)焦點(diǎn)大小的儀器。今年3月，國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布《實(shí)時(shí)焦點(diǎn)測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見(jiàn)稿，規(guī)程包括封面、扉頁(yè)、目錄、引言、范圍、引用文件、概述、計(jì)量特性、校準(zhǔn)條件、校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法、校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)、復(fù)校時(shí)間間隔、附錄幾個(gè)部分。并面向全國(guó)的計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)、科研院所以及相關(guān)的行業(yè)企業(yè)征求意見(jiàn)。為改善真空計(jì)性能及提高真空測(cè)量準(zhǔn)確度，必須突出主要現(xiàn)象。表1給出一些真空計(jì)的壓力測(cè)量范圍。制造真空計(jì)批發(fā)
相對(duì)真空計(jì)能直接讀出被測(cè)壓力，但是測(cè)量精度較低，測(cè)量結(jié)果與被測(cè)氣體種類和成分有關(guān)！發(fā)展真空計(jì)配件
值得注意的是，由于它是一種相對(duì)真空計(jì)，所以其測(cè)量結(jié)果對(duì)氣體種類具有一定的依賴性。其校準(zhǔn)曲線通常針對(duì)干燥的氮?dú)饣蚩諝膺M(jìn)行標(biāo)定。因此，在被測(cè)氣體成分發(fā)生較大變化時(shí)，需要對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行相應(yīng)的修正。此外，長(zhǎng)時(shí)間使用后，熱絲可能會(huì)因氧化而發(fā)生零點(diǎn)漂移，這要求我們?cè)谑褂脮r(shí)避免長(zhǎng)時(shí)間暴露于大氣或高壓強(qiáng)環(huán)境中，并可能需要通過(guò)調(diào)節(jié)電流來(lái)校準(zhǔn)零點(diǎn)位置熱偶真空計(jì)的規(guī)管構(gòu)造主要包括加熱燈絲C與D（通常采用鉑絲）以及用于測(cè)量熱絲溫度的熱電偶A與B（多采用鉑銠或康銅-鎳鉻合金）發(fā)展真空計(jì)配件
