Torr至大氣壓(760Torr),適合低真空至中真空。優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、響應(yīng)快。局限性:對(duì)氣體種類敏感(不同氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)不同,需校準(zhǔn))。高真空下精度下降(因熱傳導(dǎo)主要依賴殘余氣體,信號(hào)微弱)。2.電離真空計(jì)(IonizationGauge)原理:基于氣體電離效應(yīng)。包括熱陰極電離計(jì)(如三極管型)和冷陰極電離計(jì)(如潘寧計(jì))。熱陰極型:陰極發(fā)射電子,電子撞擊氣體分子使其電離(產(chǎn)生正離子和電子)。收集極捕獲正離子,形成離子電流,其大小與氣體分子密度成正比。通過測(cè)量離子電流推算真空度。被測(cè)氣體是否會(huì)損傷高精度薄膜真空計(jì);高精度薄膜真空計(jì)可否會(huì)給被測(cè)氣體狀態(tài)帶來(lái)影響。服務(wù)真空計(jì)安裝

可以看出雖然我們已經(jīng)抽到了超高真空,但是腔體內(nèi)的分子數(shù)還是很多很多,這就是為什么我們要在超高真空條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的原因。講了這么多,不知道你有沒有想過,我們是如何知道腔體內(nèi)的真空度有多高的呢?度量真空的儀器——真空計(jì)是的,就像我們有溫度計(jì)和濕度計(jì)一樣,我們也有測(cè)量真空度的儀器——真空計(jì)。我們已經(jīng)知道,真空度的高低是用壓強(qiáng)大小來(lái)衡量的,因此,真空計(jì)也是通過測(cè)量壓強(qiáng)的大小來(lái)反映真空度的。真空計(jì)根據(jù)其工作原理大致可以分為兩類:一類直接測(cè)量壓強(qiáng)的大小,稱為***真空計(jì),例如U型真空計(jì)、壓縮式真空計(jì);一類是通過測(cè)量與壓強(qiáng)有關(guān)的物理量,間接標(biāo)定壓強(qiáng)的數(shù)值,稱為相對(duì)真空計(jì),例如熱傳導(dǎo)真空計(jì)、電離真空計(jì)。在實(shí)驗(yàn)室常用的一般是相對(duì)真空計(jì)。 愛德克斯四合一真空計(jì)維修電話隨著真空技術(shù)的普及,大量應(yīng)用于單晶爐設(shè)備,真空計(jì)滿足光伏行業(yè)基礎(chǔ)單晶硅生產(chǎn)。

利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的真空計(jì):皮拉尼(Pirani)電阻規(guī):利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作,通過測(cè)量熱絲電阻大小推算氣壓大小。其測(cè)量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱電偶規(guī):與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,但使用熱電偶直接測(cè)量熱絲的溫度變化。測(cè)量范圍也一般在0.1Pa至1000Pa。利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì):熱陰極電離規(guī):由熱陰極發(fā)射電子,電離真空中的氣體分子,產(chǎn)生離子,通過測(cè)量離子電流的大小推算出真空中氣體分子的密度,進(jìn)而得到氣壓大小。其測(cè)量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。冷陰極電離規(guī):利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子,再進(jìn)***壓測(cè)量。其測(cè)量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。相關(guān)商品品質(zhì)精選、專業(yè)服務(wù)
技術(shù)參數(shù)播報(bào)編輯根據(jù)2012年發(fā)布的ZDF-1A/B型說(shuō)明書,熱偶真空計(jì)、熱陰極電離真空計(jì)及金屬電阻規(guī)三種測(cè)量通道組合構(gòu)成,覆蓋105~10-6Pa的真空范圍測(cè)量,主要技術(shù)指標(biāo)包括 [1]:熱偶規(guī)測(cè)量范圍:3.0×102~1.0×10?1Pa(ZJ-54D型)電離規(guī)測(cè)量范圍:5~1.0×10??Pa(ZJ-27型)或26~1.0×10??Pa(ZJ-10型)發(fā)射電流調(diào)節(jié)范圍:50μA至5mA陽(yáng)極電壓:225V(ZDF-1A型)繼電器觸點(diǎn)容量:220V AC/3A。使用復(fù)合真空計(jì)需遵循特定操作要求 [1]:真空系統(tǒng)放氣前必須切換至熱偶計(jì)或電阻規(guī)通道,防止電離規(guī)管暴露于高壓空氣電離規(guī)燈絲只能在壓強(qiáng)低于1Pa時(shí)啟動(dòng),避免氧化燒毀定期校準(zhǔn)熱偶規(guī)加熱電流,標(biāo)準(zhǔn)值為95-105mA(具體數(shù)值依據(jù)規(guī)管型號(hào))安裝時(shí)電離規(guī)管軸線應(yīng)與地面垂直,傾斜角度不得超過30°電容薄膜真空計(jì)是一種絕壓、全壓測(cè)量的真空計(jì)。

真空計(jì)是用于測(cè)量真空度的設(shè)備,其工作原理及測(cè)量范圍對(duì)于了解真空技術(shù)至關(guān)重要。在真空鍍膜機(jī)的腔體內(nèi),真空測(cè)量是指利用專門的儀器和裝置來(lái)測(cè)定某一封閉空間內(nèi)的真空度。這些儀器或裝置被稱為真空計(jì)(或規(guī)管),種類繁多,常見的分類方式是根據(jù)其測(cè)量原理。直接通過測(cè)定物理參數(shù)來(lái)獲取氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)被稱為***真空計(jì),例如U型壓力計(jì)和壓縮式真空計(jì)。***真空計(jì)測(cè)量氣體壓強(qiáng)較為準(zhǔn)確,不受氣體成分影響。而相對(duì)真空計(jì)則通過測(cè)量與壓強(qiáng)相關(guān)的物理量,再與***真空計(jì)對(duì)比來(lái)得出壓強(qiáng)值,例如放電真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)。相對(duì)真空計(jì)的測(cè)量準(zhǔn)確度略遜于***真空計(jì),且測(cè)量結(jié)果與氣體種類相關(guān)。在實(shí)際生產(chǎn)中,除了真空校準(zhǔn)外,相對(duì)真空計(jì)的應(yīng)用更為***。 真空計(jì)利用氣體在低壓力下的熱傳導(dǎo)、電離、粘滯性和應(yīng)變等物理特性與壓力的關(guān)系間接測(cè)量氣體壓力。特殊真空計(jì)電話
真空計(jì)測(cè)量范圍壓力測(cè)量中,除極少數(shù)直接測(cè)量外,絕大多數(shù)是間接測(cè)量。服務(wù)真空計(jì)安裝
真空壓力計(jì)有多種類型,包括但不限于以下幾種:熱傳導(dǎo)真空壓力計(jì):利用氣體熱傳導(dǎo)造成的某些結(jié)果(如熱絲溫度、電阻變化)來(lái)測(cè)量真空度。電離真空計(jì):通過電子碰撞氣體分子使之電離,用測(cè)得的離子流來(lái)反應(yīng)壓力。壓縮式真空計(jì):先將被測(cè)氣體壓縮以提高其壓力,然后測(cè)量增高后的壓力,再根據(jù)壓縮比計(jì)算出原來(lái)的壓力值。薄膜真空計(jì):利用薄膜在真空壓力作用下的變形來(lái)測(cè)量真空度,如電容式薄膜真空計(jì)。U型管真空計(jì):使用歷史**長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)**簡(jiǎn)單的測(cè)量壓力的儀器,通過U型管兩端的液面差來(lái)指示真空度。數(shù)字式真空壓力計(jì):能夠直接讀取數(shù)字顯示的壓力值,操作便捷,且具有高精度和穩(wěn)定***真空計(jì)安裝