真空計廣泛應(yīng)用于氣體輸送、管道液體及密閉容器中測量無腐蝕性、無危險、無結(jié)晶體、不凝固體的各種液體、氣體、蒸汽等介質(zhì)的壓力大小。特別是在半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)、納米技術(shù)研發(fā)、生物醫(yī)學(xué)研究以及航空航天等領(lǐng)域,真空壓力計發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,為產(chǎn)品的質(zhì)量控制和研發(fā)創(chuàng)新提供了有力支持。四、特點與優(yōu)勢高精度:能夠準確反映真空系統(tǒng)的壓力狀況。穩(wěn)定性好:在長時間使用過程中保持測量結(jié)果的準確性。操作便捷:特別是對于數(shù)字式真空壓力計,直接讀取數(shù)字顯示的壓力值,操作更為簡單直觀。應(yīng)用范圍廣:不僅適用于科研和工業(yè)生產(chǎn)中的真空測量,也適用于真空設(shè)備的檢測和維護。真空計是從真空計本身測得的物理量直接計算出(或得出)壓力的儀器。服務(wù)真空計推薦咨詢

復(fù)合真空計播報編輯討論上傳視頻由熱偶與熱陰極電離真空計組成的真空測量裝置復(fù)合真空計是將熱偶真空計和熱陰極電離真空計組合而成的寬量程真空測量設(shè)備,測量范圍覆蓋大氣壓至10??Pa [2]。熱偶真空計通過氣體熱傳導(dǎo)效應(yīng)測量102-10?1Pa區(qū)間的低真空,熱陰極電離真空計利用電子碰撞電離原理檢測10?1-10??Pa范圍的高真空。兩種真空計在10?1Pa量級通過自動切換機制銜接,有效避免電離規(guī)管在高壓強工況下?lián)p壞 [1] [4]。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、電子束焊接等工業(yè)場景,具備自動校準與多通道控制功能優(yōu)勢真空計檢修把待測壓強氣體的一部分進行隔離并加以壓縮,直到壓強增大到可以直接測量真空計的程度。

實驗室常用的真空泵有機械泵、渦輪分子泵、真空計,離子泵、鈦升華泵、低溫吸附泵、吸氫氣泵幾種,正是這些不同種類的泵一級級地抽,才能達到超高真空狀態(tài)。分子泵我們知道,空氣是由大量的氣體分子構(gòu)成的,含量比較高的是氮氣、氧氣,還有少量的二氧化碳、氫氣、水蒸氣、稀有氣體之類的。一個密閉容器中所含的氣體分子越少,它的真空度就越高,因此我們抽真空的目的就是盡可能地減少腔體中氣體分子的數(shù)目,這就是這些真空泵要做的事情。
Torr至大氣壓(760Torr),適合低真空至中真空。優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、成本低、響應(yīng)快。局限性:對氣體種類敏感(不同氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)不同,需校準)。高真空下精度下降(因熱傳導(dǎo)主要依賴殘余氣體,信號微弱)。2.電離真空計(IonizationGauge)原理:基于氣體電離效應(yīng)。包括熱陰極電離計(如三極管型)和冷陰極電離計(如潘寧計)。熱陰極型:陰極發(fā)射電子,電子撞擊氣體分子使其電離(產(chǎn)生正離子和電子)。收集極捕獲正離子,形成離子電流,其大小與氣體分子密度成正比。通過測量離子電流推算真空度。世界真空企業(yè),在皮拉尼真空計的生產(chǎn)工藝上采用白金絲,代替?zhèn)鹘y(tǒng)燈絲。很大提高了產(chǎn)品穩(wěn)定性。

***與相對真空計的比較***真空計測量氣體壓強較為準確,不受氣體成分影響,而相對真空計須與***真空計對比得出壓強值。在實際生產(chǎn)中,由于其校準更為便捷,相對真空計應(yīng)用更為***。02電阻真空計◇工作原理電阻真空計通過測量熱絲的電阻變化來間接獲得真空度。在低壓環(huán)境下,氣體的熱傳導(dǎo)與壓強密切相關(guān),因此,電阻真空計的關(guān)鍵在于如何準確測量溫度參數(shù)并建立電阻與壓強的對應(yīng)關(guān)系。測量范圍及影響因素電阻真空計適用于測量較低至中等的真空度范圍。其測量范圍通常在105至10-2Pa之間。作為一種相對真空計,其測量結(jié)果會受到氣體種類的影響,因為校準曲線通常是針對干燥的氮氣或空氣制定的。電阻真空計的長期使用需避免氧化影響,通過定期校準以確保準確性。 薄膜電容真空計又稱CBB電容,它有聚丙烯膜和聚酯膜兩種介質(zhì)分類。檢驗真空計維修電話
所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分.否則會對真空計造成很大誤差。服務(wù)真空計推薦咨詢
這些真空泵按工作原理大致可以分為兩類。一類是真空計將氣體不斷吸入并排出體外的泵,例如機械泵、渦輪分子泵;一類是將氣體分子吸附在內(nèi)壁上的泵,例如鈦升華泵、低溫吸附泵、吸氫氣泵。不管工作原理如何,這些泵的**終目的都是減少腔體內(nèi)的氣體分子數(shù)。由于不同泵的構(gòu)造不同,每種泵都有自己的工作區(qū)間,只有在一定的壓強范圍內(nèi)才可以正常工作,否則就會損壞。不同泵的工作壓強區(qū)間如下圖所示。從上圖我們可以看出,要達到超高真空,只用一種泵是無法實現(xiàn)的,需要不同種類的泵接力,像極了我們做科研的過程,不是嗎?團隊合作。在實驗室,我們先用機械泵抽到粗真空,再打開分子泵抽到高真空,**后用離子泵或者鈦升華泵抽到實驗所需的真空狀態(tài)。 服務(wù)真空計推薦咨詢