注意事項(xiàng)1.禁止用銳器或硬物捅引壓孔內(nèi)部膜片,這會(huì)引起傳感器壓力膜片損壞,導(dǎo)致無(wú)法維修。2.對(duì)于雷擊頻繁區(qū)域,建議線路中加裝防雷裝置。特別注意:以下幾種情況不屬于我公司質(zhì)保范圍:1.被測(cè)介質(zhì)中含有顆?;蛘哒承越橘|(zhì)堵塞引壓孔,損壞傳感器膜片無(wú)法修復(fù)的。2.靜態(tài)壓力過(guò)載打壞傳感器芯體。3.脈沖壓力沖擊損壞傳感器芯體。4.未按照標(biāo)牌要求提供合適電源,大電壓燒壞變送器線路模塊。5.未在標(biāo)牌要求的介質(zhì)溫度范圍內(nèi)使用。6.壓力過(guò)載到3倍滿(mǎn)量程以上。7.未聯(lián)系廠家自行拆卸產(chǎn)品出現(xiàn)的質(zhì)量問(wèn)題。真空計(jì)是從真空計(jì)本身測(cè)得的物理量直接計(jì)算出(或得出)壓力的儀器。機(jī)械真空計(jì)聯(lián)系人

電阻真空計(jì)的原理與應(yīng)用電阻真空計(jì),作為熱傳導(dǎo)真空計(jì)的一種,其工作原理是利用測(cè)量真空中熱絲的溫度來(lái)間接獲得真空度的大小。在低壓環(huán)境下,氣體的熱傳導(dǎo)特性與壓強(qiáng)密切相關(guān),因此,電阻真空計(jì)的關(guān)鍵在于如何準(zhǔn)確測(cè)量溫度參數(shù)并建立起電阻與壓強(qiáng)的對(duì)應(yīng)關(guān)系。該儀器的主要構(gòu)成部分包括規(guī)管中的加熱燈絲,通常采用電阻溫度系數(shù)較高的鎢絲或鉑絲。電阻真空計(jì)通過(guò)測(cè)量熱絲電阻變化來(lái)確定真空度,其結(jié)果依賴(lài)于氣體種類(lèi)且存在測(cè)量范圍限制。測(cè)量范圍通常在105~10-2Pa之間。優(yōu)勢(shì)真空計(jì)對(duì)比價(jià)真空計(jì)測(cè)量過(guò)程中整個(gè)系統(tǒng)電源電壓必須恒定。當(dāng)真空度低于0.1Pa時(shí),不能使用電離規(guī)。

不同類(lèi)型真空計(jì)(如皮拉尼、電離、冷陰極)的**區(qū)別在于其測(cè)量原理基于的物理效應(yīng)不同,這些效應(yīng)決定了它們的適用范圍、精度、響應(yīng)速度及對(duì)氣體種類(lèi)的敏感性。以下是具體分析:1.皮拉尼真空計(jì)(PiraniGauge)原理:基于熱傳導(dǎo)效應(yīng)。傳感器為金屬絲(如鎢或鉑),通電后發(fā)熱。氣體分子密度(即真空度)影響熱傳導(dǎo)效率:高真空時(shí),氣體分子少,熱傳導(dǎo)主要依賴(lài)殘余氣體,金屬絲溫度較高,電阻增大。低真空時(shí),氣體分子多,熱傳導(dǎo)增強(qiáng),金屬絲溫度降低,電阻減小。通過(guò)測(cè)量金屬絲電阻變化推算真空度。特點(diǎn):量程:通常為10
在真空鍍膜機(jī)腔體內(nèi),真空計(jì)測(cè)量是一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),它涉及使用專(zhuān)為這一目的設(shè)計(jì)的儀器和裝置,即真空計(jì),來(lái)測(cè)定特定空間內(nèi)的真空度。真空測(cè)量分為***真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)。***真空計(jì)直接測(cè)量物理參數(shù)以確定氣體壓強(qiáng),如U型壓力計(jì)和壓縮式真空計(jì),它們不受氣體成分影響,測(cè)量準(zhǔn)確度高,但在極低氣體壓強(qiáng)下直接測(cè)量變得困難。相對(duì)真空計(jì)則通過(guò)測(cè)量與壓強(qiáng)相關(guān)的物理量,再與***真空計(jì)對(duì)比得出壓強(qiáng)值,如放電真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等。這類(lèi)真空計(jì)的測(cè)量準(zhǔn)確度稍遜于***真空計(jì),且結(jié)果可能受氣體種類(lèi)影響。在實(shí)際應(yīng)用中,特別是在非校準(zhǔn)場(chǎng)合,相對(duì)真空計(jì)更為常見(jiàn)。隨著真空技術(shù)的普及,大量應(yīng)用于單晶爐設(shè)備,真空計(jì)滿(mǎn)足光伏行業(yè)基礎(chǔ)單晶硅生產(chǎn)。

這些真空泵按工作原理大致可以分為兩類(lèi)。一類(lèi)是真空計(jì)將氣體不斷吸入并排出體外的泵,例如機(jī)械泵、渦輪分子泵;一類(lèi)是將氣體分子吸附在內(nèi)壁上的泵,例如鈦升華泵、低溫吸附泵、吸氫氣泵。不管工作原理如何,這些泵的**終目的都是減少腔體內(nèi)的氣體分子數(shù)。由于不同泵的構(gòu)造不同,每種泵都有自己的工作區(qū)間,只有在一定的壓強(qiáng)范圍內(nèi)才可以正常工作,否則就會(huì)損壞。不同泵的工作壓強(qiáng)區(qū)間如下圖所示。從上圖我們可以看出,要達(dá)到超高真空,只用一種泵是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的,需要不同種類(lèi)的泵接力,像極了我們做科研的過(guò)程,不是嗎?團(tuán)隊(duì)合作。在實(shí)驗(yàn)室,我們先用機(jī)械泵抽到粗真空,再打開(kāi)分子泵抽到高真空,**后用離子泵或者鈦升華泵抽到實(shí)驗(yàn)所需的真空狀態(tài)。 被測(cè)氣體是否會(huì)損傷真空計(jì);真空計(jì)可否會(huì)給被測(cè)氣體狀態(tài)帶來(lái)影響。便攜式四合一真空計(jì)技術(shù)參數(shù)
真空計(jì)是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化氣壓的測(cè)量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中使用。機(jī)械真空計(jì)聯(lián)系人
NC610A真空計(jì)廣泛應(yīng)用于光伏、太陽(yáng)能等行業(yè)的真空爐上。冷陰極型(如潘寧計(jì)):利用高壓電場(chǎng)和磁場(chǎng)使殘余氣體電離,無(wú)需加熱陰極。離子電流同樣與氣體分子密度相關(guān)。特點(diǎn):量程:通常為10?9Torr至10?3Torr,適合高真空至超高真空。優(yōu)點(diǎn):高真空下精度高(信號(hào)與氣體分子密度直接相關(guān))。對(duì)氣體種類(lèi)不敏感(電離截面差異可忽略)。局限性:熱陰極型需加熱陰極,可能污染系統(tǒng)(蒸發(fā)材料)。冷陰極型在低真空下可能無(wú)法啟動(dòng)(需足夠殘余氣體維持真空計(jì)電離)。機(jī)械真空計(jì)聯(lián)系人