電離真空計(jì)的構(gòu)造與測量機(jī)制電離真空計(jì)是一種廣泛應(yīng)用于真空度測量的儀器,其工作原理基于氣體分子的電離。根據(jù)氣體電離源的不同,電離真空計(jì)可分為熱陰極和冷陰極兩大類。電離真空計(jì)通過氣體電離產(chǎn)生離子流測量壓強(qiáng),類型多樣,適合不同真空度范圍。該儀器主要由三個(gè)電極組成:發(fā)射電子的燈絲作為發(fā)射極A,負(fù)責(zé)加速電子的柵極(或稱為加速極)B,以及收集離子的圓筒型電極C。電阻真空計(jì),作為熱傳導(dǎo)真空計(jì)的一種,其工作原理是利用測量真空中熱絲的溫度來間接獲得真空度的大小。薄膜真空計(jì)是一種直接測量式的、全壓型的真空計(jì)。HONEYWELL真空計(jì)配件

二、相對真空計(jì)的主要類型1.熱傳導(dǎo)真空計(jì)熱傳導(dǎo)真空計(jì)是利用氣體在不同壓力下對熱量傳遞的影響來測量真空度的。在低真空范圍內(nèi),其測量精度高,穩(wěn)定性好。但由于其依賴氣體的熱傳導(dǎo)性質(zhì),因此在不同氣體組分的環(huán)境下,可能需要進(jìn)行校準(zhǔn)。2.電離真空計(jì)電離真空計(jì)的工作原理是通過電場加速電子,使氣體分子電離,從而產(chǎn)生電流。該電流的大小取決于氣體分子的數(shù)量和能量,因此可以作為測量真空度的依據(jù)。電離真空計(jì)適用于測量高真空和超高真空范圍,且響應(yīng)速度快,但對使用環(huán)境要求較高。保時(shí)安真空計(jì)維修電話穩(wěn)定性的提高使得皮拉尼真空計(jì)獲得更為廣擴(kuò)的應(yīng)用。

***與相對真空計(jì)的比較***真空計(jì)測量氣體壓強(qiáng)較為準(zhǔn)確,不受氣體成分影響,而相對真空計(jì)須與***真空計(jì)對比得出壓強(qiáng)值。在實(shí)際生產(chǎn)中,由于其校準(zhǔn)更為便捷,相對真空計(jì)應(yīng)用更為***。02電阻真空計(jì)◇工作原理電阻真空計(jì)通過測量熱絲的電阻變化來間接獲得真空度。在低壓環(huán)境下,氣體的熱傳導(dǎo)與壓強(qiáng)密切相關(guān),因此,電阻真空計(jì)的關(guān)鍵在于如何準(zhǔn)確測量溫度參數(shù)并建立電阻與壓強(qiáng)的對應(yīng)關(guān)系。測量范圍及影響因素電阻真空計(jì)適用于測量較低至中等的真空度范圍。其測量范圍通常在105至10-2Pa之間。作為一種相對真空計(jì),其測量結(jié)果會(huì)受到氣體種類的影響,因?yàn)樾?zhǔn)曲線通常是針對干燥的氮?dú)饣蚩諝庵贫ǖ?。電阻真空?jì)的長期使用需避免氧化影響,通過定期校準(zhǔn)以確保準(zhǔn)確性。
真空計(jì)與壓強(qiáng)的關(guān)系為,真空度越高,壓強(qiáng)越??;真空度越低,壓強(qiáng)越大。正因?yàn)榇耍婵斩鹊膯挝挥玫氖菈簭?qiáng)單位。一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓用帕斯卡(Pa)表示為1atm=1.013×105Pa這樣我們就得到不同真空單位之間的換算關(guān)系。有了單位,我們就可以對真空度進(jìn)行劃分。國際上沒有統(tǒng)一的劃分標(biāo)準(zhǔn),常用的劃分是這樣的,粗真空:760Torr~1Torr低真空:1Torr~10-3Torr一般真空:10-3Torr~10-6Torr高真空:10-6Torr~10-9Torr超高真空:10-9Torr~10-12Tor那么有了這個(gè)標(biāo)準(zhǔn),我們上面提到的針管中的真空以及托里拆利實(shí)驗(yàn)中的真空就都屬于粗真空的范疇了。那么實(shí)驗(yàn)室里常用的超高真空狀態(tài)是怎么實(shí)現(xiàn)的呢?這就涉及到了我們的**內(nèi)容——真空泵。真空計(jì)的種類有很多,適用范圍也各有不同。

普通型熱陰極真空計(jì)的測量范圍限定在1.33×10-1至1.33×105Pa之間。在高壓強(qiáng)環(huán)境下,電子與氣體分子的頻繁碰撞導(dǎo)致電子流急劇增加,而低能碰撞則無法引發(fā)電離,進(jìn)而影響離子流與壓強(qiáng)之間的線性關(guān)系。另一方面,在極低的壓強(qiáng)條件下(低于1.33×10-1Pa),高速電子產(chǎn)生的軟X射線會(huì)引發(fā)離子收集極C的光電發(fā)射,從而引入與壓強(qiáng)無關(guān)的電流,破壞離子流I+與氣體壓強(qiáng)之間的線性關(guān)系,使電離真空計(jì)無法準(zhǔn)確測量真空室中的壓強(qiáng)。選擇合適的真空計(jì)是關(guān)鍵。電容薄膜bai真空計(jì)是一種絕壓、全壓測量的真空計(jì)。泵吸式真空計(jì)電話
相對真空計(jì)則是必須經(jīng)過真空計(jì)的校準(zhǔn)之后才能進(jìn)行真空度的測量。HONEYWELL真空計(jì)配件
工作原理播報(bào)編輯兩種真空計(jì)在不同壓強(qiáng)區(qū)間發(fā)揮測量作用:1.熱偶真空計(jì)加熱電流恒定狀態(tài)下,熱電偶電勢與氣體熱傳導(dǎo)系數(shù)呈正相關(guān)。當(dāng)壓強(qiáng)低于10Pa時(shí)氣體導(dǎo)熱系數(shù)隨壓強(qiáng)降低而減小,通過熱電偶輸出電勢變化反映真空度。有效測量范圍為100-0.1Pa [4]。2.熱陰極電離真空計(jì)燈絲加熱至2200K發(fā)射熱電子,經(jīng)150V柵極電壓加速后與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子。收集極在-25V偏壓下捕獲離子形成電流,該電流與氣體壓強(qiáng)成線性關(guān)系 [4]。典型工作范圍為0.1-1×10??Pa。設(shè)備通過動(dòng)態(tài)切換機(jī)制實(shí)現(xiàn)量程銜接:當(dāng)熱偶計(jì)檢測到壓強(qiáng)低于10?1Pa時(shí),自動(dòng)開啟電離計(jì) [1] [4]。ZDF-1A/B型具備1-99分鐘可調(diào)延時(shí)切換功能,防止頻繁啟停損壞燈絲 [1]HONEYWELL真空計(jì)配件