霍尼韋爾真空計(jì)技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù)播報(bào)編輯根據(jù)2012年發(fā)布的ZDF-1A/B型說(shuō)明書(shū)，熱偶真空計(jì)、熱陰極電離真空計(jì)及金屬電阻規(guī)三種測(cè)量通道組合構(gòu)成，覆蓋105~10-6Pa的真空范圍測(cè)量，主要技術(shù)指標(biāo)包括 [1]：熱偶規(guī)測(cè)量范圍：3.0×102~1.0×10?1Pa（ZJ-54D型）電離規(guī)測(cè)量范圍：5~1.0×10??Pa（ZJ-27型）或26~1.0×10??Pa（ZJ-10型）發(fā)射電流調(diào)節(jié)范圍：50μA至5mA陽(yáng)極電壓：225V（ZDF-1A型）繼電器觸點(diǎn)容量：220V AC/3A。使用復(fù)合真空計(jì)需遵循特定操作要求 [1]：真空系統(tǒng)放氣前必須切換至熱偶計(jì)或電阻規(guī)通道，防止電離規(guī)管暴露于高壓空氣電離規(guī)燈絲只能在壓強(qiáng)低于1Pa時(shí)啟動(dòng)，避免氧化燒毀定期校準(zhǔn)熱偶規(guī)加熱電流，標(biāo)準(zhǔn)值為95-105mA（具體數(shù)值依據(jù)規(guī)管型號(hào)）安裝時(shí)電離規(guī)管軸線應(yīng)與地面垂直，傾斜角度不得超過(guò)30°復(fù)合真空計(jì)附有一個(gè)熱偶規(guī)管、一個(gè)電離規(guī)管，分別接在真空系統(tǒng)上。霍尼韋爾真空計(jì)技術(shù)參數(shù)

普通型熱陰極真空計(jì)的測(cè)量范圍限定在1.33×10-1至1.33×105Pa之間。在高壓強(qiáng)環(huán)境下，電子與氣體分子的頻繁碰撞導(dǎo)致電子流急劇增加，而低能碰撞則無(wú)法引發(fā)電離，進(jìn)而影響離子流與壓強(qiáng)之間的線性關(guān)系。另一方面，在極低的壓強(qiáng)條件下（低于1.33×10-1Pa），高速電子產(chǎn)生的軟X射線會(huì)引發(fā)離子收集極C的光電發(fā)射，從而引入與壓強(qiáng)無(wú)關(guān)的電流，破壞離子流I+與氣體壓強(qiáng)之間的線性關(guān)系，使電離真空計(jì)無(wú)法準(zhǔn)確測(cè)量真空室中的壓強(qiáng)。選擇合適的真空計(jì)是關(guān)鍵。工廠真空計(jì)進(jìn)貨價(jià)為改善真空計(jì)性能及提高真空測(cè)量準(zhǔn)確度，必須突出主要現(xiàn)象，控制寄生現(xiàn)象。給出一些真空計(jì)的壓力測(cè)量范圍。

一、真空計(jì)分類(lèi)真空計(jì)主要可分為兩大類(lèi)，***真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)，這兩者的主要區(qū)別在于其測(cè)量真空度的方式不同。1.***真空計(jì)***真空計(jì)可以直接測(cè)量氣體的***壓力。其典型的例子是U形管真空計(jì)，通過(guò)**或油的液面差來(lái)直接反映氣體的壓力。這種真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量精度高，但通常結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，且需要對(duì)測(cè)量環(huán)境進(jìn)行溫度修正。2.相對(duì)真空計(jì)相對(duì)真空計(jì)則是通過(guò)間接的方法來(lái)反映真空度，其顯示的讀數(shù)通常與某種已知?dú)怏w的壓力相關(guān)聯(lián)。相對(duì)真空計(jì)通常更為便捷，適用于現(xiàn)場(chǎng)快速檢測(cè)或連續(xù)監(jiān)測(cè)。下面將詳細(xì)介紹幾種常見(jiàn)的相對(duì)真空計(jì)。

真空計(jì)與壓強(qiáng)的關(guān)系為，真空度越高，壓強(qiáng)越小；真空度越低，壓強(qiáng)越大。正因?yàn)榇耍婵斩鹊膯挝挥玫氖菈簭?qiáng)單位。一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓用帕斯卡（Pa）表示為1atm=1.013×105Pa這樣我們就得到不同真空單位之間的換算關(guān)系。有了單位，我們就可以對(duì)真空度進(jìn)行劃分。國(guó)際上沒(méi)有統(tǒng)一的劃分標(biāo)準(zhǔn)，常用的劃分是這樣的，粗真空：760Torr~1Torr低真空：1Torr~10-3Torr一般真空：10-3Torr~10-6Torr高真空：10-6Torr~10-9Torr超高真空：10-9Torr~10-12Tor那么有了這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，我們上面提到的針管中的真空以及托里拆利實(shí)驗(yàn)中的真空就都屬于粗真空的范疇了。那么實(shí)驗(yàn)室里常用的超高真空狀態(tài)是怎么實(shí)現(xiàn)的呢？這就涉及到了我們的**內(nèi)容——真空泵。對(duì)低真空和高真空的測(cè)量不能用一種真空計(jì)來(lái)完成，而應(yīng)采用復(fù)合真空計(jì)，較多的是電離與熱偶式復(fù)合真空計(jì)。

二、相對(duì)真空計(jì)的主要類(lèi)型1.熱傳導(dǎo)真空計(jì)熱傳導(dǎo)真空計(jì)是利用氣體在不同壓力下對(duì)熱量傳遞的影響來(lái)測(cè)量真空度的。在低真空范圍內(nèi)，其測(cè)量精度高，穩(wěn)定性好。但由于其依賴(lài)氣體的熱傳導(dǎo)性質(zhì)，因此在不同氣體組分的環(huán)境下，可能需要進(jìn)行校準(zhǔn)。2.電離真空計(jì)電離真空計(jì)的工作原理是通過(guò)電場(chǎng)加速電子，使氣體分子電離，從而產(chǎn)生電流。該電流的大小取決于氣體分子的數(shù)量和能量，因此可以作為測(cè)量真空度的依據(jù)。電離真空計(jì)適用于測(cè)量高真空和超高真空范圍，且響應(yīng)速度快，但對(duì)使用環(huán)境要求較高。電容薄膜bai真空計(jì)是一種絕壓、全壓測(cè)量的真空計(jì)。檢驗(yàn)真空計(jì)多少錢(qián)

薄膜真空計(jì)是一種直接測(cè)量式的、全壓型的真空計(jì)。霍尼韋爾真空計(jì)技術(shù)參數(shù)

工作原理與分類(lèi) 根據(jù)物理效應(yīng)差異，真空計(jì)可分為以下三大類(lèi)： 力學(xué)性能類(lèi) 原理：利用氣體壓力引起的機(jī)械形變或電容變化。 典型儀器：波爾登規(guī)（Bourdon）、薄膜電容規(guī)（測(cè)量范圍：101325~133.32Pa）。 特點(diǎn)：適用于腐蝕性氣體和可凝蒸汽。 熱交換類(lèi)（氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)） 原理：基于氣體熱導(dǎo)率隨壓力變化的特性，如皮拉尼真空計(jì)通過(guò)加熱絲電阻變化推斷壓力（測(cè)量范圍：5×10??~1000Pa）。 典型儀器：皮拉尼電阻規(guī)、熱電偶規(guī)。 帶電粒子效應(yīng)類(lèi) 原理：利用氣體電離產(chǎn)生的電流與壓力成正比的關(guān)系。 典型儀器：熱陰極/冷陰極電離規(guī)（測(cè)量范圍：10??~10?1?Pa）。 特點(diǎn)：高精度但易受污染，需避免油蒸氣。霍尼韋爾真空計(jì)技術(shù)參數(shù)