廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-23
金屬表面處理真空鍍膜出現(xiàn)薄膜附著力差,是常見失效模式,原因多樣。首先,基片清洗不徹底,殘留油污、氧化膜或水分會阻礙膜—基界面擴(kuò)散,導(dǎo)致金屬表面處理結(jié)合強(qiáng)度低;其次,真空度差或腔體返油,使界面形成污染夾層,降低附著力;再次,偏壓或離子轟擊不足,表面活化不夠,成核密度低,膜層呈柱狀疏松結(jié)構(gòu),易剝落;此外,膜材與基體熱膨脹系數(shù)失配,內(nèi)應(yīng)力大,也會誘發(fā)開裂、起皮。解決思路:強(qiáng)化前道超聲+等離子清洗,確保接觸角<5°;烘烤除氣,本底真空≤5×10?3 Pa;合理加負(fù)偏壓—800 V預(yù)濺射,再降至—50 V沉積,提高界面混合層;選用梯度過渡或打底Ti、Cr層,緩沖應(yīng)力;優(yōu)化溫度、厚度與降溫速率,將內(nèi)應(yīng)力降至臨界值以下,可提升金屬表面處理附著力,滿足百格、劃痕等金屬表面處理檢測標(biāo)準(zhǔn)。
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