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晶圓掃描顯微鏡的照明系統(tǒng)有哪些類型？如何選擇？

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杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-10-23

照明系統(tǒng)分為透射式和反射式。透射式用于透明或半透明晶圓（如硅基片），光線從下方穿透樣品，適合觀察內部結構；反射式用于不透明晶圓（如金屬鍍層），光線從上方照射，可清晰呈現(xiàn)表面形貌。例如，OMT-12RT顯微鏡同時支持兩種模式，可靈活切換以適應不同材質檢測需求。

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簡介：杭州芯紀源半導體設備有限公司是一家專業(yè)從事半導體檢測設備研發(fā)、生產、銷售為一體的科技型企業(yè)。

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水浸式超聲掃描儀2

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杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-10-26

光源類型影響成像質量。鹵素燈成本低但發(fā)熱高，可能因熱膨脹導致晶圓變形；LED燈壽命長（超5萬小時）、發(fā)熱低，且可通過調節(jié)電流實現(xiàn)亮度無級控制，更適合長時間檢測任務。例如，蘇州歐米特OMT-12RT采用LED環(huán)形光源，可均勻照亮300mm晶圓表面。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-10-29

多光路設計可擴展功能。部分顯微鏡（如徠卡DM8000M）配備明場、暗場、偏光、微分干涉四種光路，明場用于常規(guī)觀察，暗場可增強邊緣對比度，偏光可分析晶體結構，微分干涉能提升表面粗糙度檢測靈敏度。用戶可根據(jù)檢測目標（如缺陷類型、材料特性）選擇合適光路。

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