微泰半導(dǎo)體流量計(jì)精密元件半導(dǎo)體流量計(jì)的精密組件,可精確測(cè)量半導(dǎo)體制造過程中使用的各種氣體和液體的流量,并提供實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)來嚴(yán)格控制該過程。由主體(Body)、葉片(impeller)、鎢軸和釬焊軸組成。鋁、不銹鋼(SUS304、SUS316)、聚甲醛(POM)、可采用聚醚醚酮(PEEK)材料加工,提供1/2"、3/4"、1"、11/4"尺寸。模組型產(chǎn)品尺寸:1/2英寸、9/4英寸、1英寸、11/4英寸材料:AL6061,SUS304,SUS316,POM,PEEK零件包括:主體、葉片、鎢軸和釬焊軸。半導(dǎo)體流量計(jì)適用于半導(dǎo)體設(shè)備的流量計(jì),具有高精度的流量檢測(cè)功能,能夠承受從低到高的溫度變化,并能將傳感器和轉(zhuǎn)換器等部件降到比較低,從而提高空間利用率。超精密磨削技術(shù)可處理硬脆材料,如陶瓷、藍(lán)寶石,精度達(dá)亞微米級(jí)。代工超精密精密制造
高精度、高效率高精度與高效率是超精密加工永恒的主題。總的來說,固著磨粒加工不斷追求著游離磨粒的加工精度,而游離磨粒加工不斷追求的是固著磨粒加工的效率。當(dāng)前超精密加技術(shù)如CMP、EEM等雖能獲得極高的表面質(zhì)量和表面完整性,但以失去加工效率為保證。超精密切削、磨削技術(shù)雖然加工效率高,但無法獲得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顧效率與精度的加工方法,成為超精密加工領(lǐng)域研究人員的目標(biāo)。半固著磨粒加工方法的出現(xiàn)即體現(xiàn)了這一趨勢(shì)。另一方面表現(xiàn)為電解磁力研磨、磁流變磨料流加工等復(fù)合加工方法的誕生。納米級(jí)超精密打孔航天光學(xué)遙感設(shè)備的鏡片依賴超精密加工,實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離高精度成像。

精密加工技術(shù)能輔助的產(chǎn)業(yè)很廣,舉凡機(jī)械、汽車、半導(dǎo)體、航太等,只要想提升產(chǎn)品的精致度與品質(zhì),就需仰賴精密加工的輔助,其精細(xì)的品質(zhì),能大幅提升許多高科技工業(yè)的「設(shè)計(jì)」與「技術(shù)」,進(jìn)而提升產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力。像與我們長(zhǎng)期合作的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),也因?yàn)閾碛辛司?xì)的零件,所以能大量生產(chǎn)出品質(zhì)優(yōu)良的晶圓。到底精密加工是什么呢?與一般加工方式有何差異?除了高規(guī)格工業(yè)外還能應(yīng)用在哪呢?精密加工定義是什么?與粗加工哪里不同?
高精度、高效率高精度與高效率是超精密加工永恒的主題??偟膩碚f,固著磨粒加工不斷追求著游離磨粒的加工精度,而游離磨粒加工不斷追求的是固著磨粒加工的效率。當(dāng)前超精密加技術(shù)如CMP、EEM等雖能獲得極高的表面質(zhì)量和表面完整性,但以部分放棄加工效率為保證。超精密切削、磨削技術(shù)雖然加工效率高,但無法獲得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顧效率與精度的加工方法,成為超精密加工領(lǐng)域研究人員的目標(biāo)。半固著磨粒加工方法的出現(xiàn)即體現(xiàn)了這一趨勢(shì)。另一方面表現(xiàn)為電解磁力研磨、磁流變磨料流加工等復(fù)合加工方法的誕生。光學(xué)鏡頭的超精密加工需兼顧面型精度與亞表面損傷的控制。

為了縮小產(chǎn)品體積、提高產(chǎn)品性能,需要高精度的微型零件。為此需要較迄今為止更為精密細(xì)微的加工技術(shù)。環(huán)境、裝置、設(shè)備、測(cè)量、測(cè)評(píng)、工具、材料、加工方法。本公司在推進(jìn)研發(fā)時(shí)周全考慮超精密·細(xì)微加工的所有相關(guān)要素,可承接金屬、樹脂、陶瓷等各種材料的加工。在半導(dǎo)體樹脂封裝的模具制造過程中積累的超精密加工技術(shù)為兼顧產(chǎn)品小型化和高性能兩方面的需求,要求制造用的模具和零件具有同樣的高精度和微型化。本公司在長(zhǎng)年積累的核心專利基礎(chǔ)上,與機(jī)床生產(chǎn)商共同開發(fā)了自動(dòng)化設(shè)備,實(shí)現(xiàn)了無人化加工。憑借先進(jìn)的加工設(shè)備以及成熟的技術(shù),實(shí)現(xiàn)超硬度材料的亞微米級(jí)加工,不僅可生產(chǎn)半導(dǎo)體及LED模具,更可為所有精密加工提供整體解決方案。曲面復(fù)合加工以R形曲面型腔為例,在超精密加工中,本公司通過有規(guī)則地配置切削、研削與放電這三種不同的加工工藝,可打造細(xì)致的花紋,并可將每個(gè)加工面的高度差控制在1μm以下。激光微加工屬于超精密加工范疇,可實(shí)現(xiàn)微小結(jié)構(gòu)的高精度成型。進(jìn)口超精密CHUCK
超精密加工技術(shù)的發(fā)展推動(dòng)了微型傳感器、微機(jī)電系統(tǒng)的性能突破。代工超精密精密制造
通常,按加工精度劃分,機(jī)械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個(gè)階段。目前,精密加工是指加工精度為10~0.1μm,表面粗糙度為Ra0.1~0.01μm,公差等級(jí)在IT5以上的加工技術(shù)。但一般加工、精密加工和超精密加工只是一個(gè)相對(duì)概念,其間的界限將隨著加工技術(shù)的進(jìn)步不斷變化,現(xiàn)在的精密加工可能就是明天的一般加工。凸起字樣被緩慢地往下壓進(jìn)底部,變成平滑表面看似現(xiàn)代科技的超精密加工,其實(shí)在上個(gè)世紀(jì)早已出現(xiàn)超精密加工的發(fā)展經(jīng)歷了如下三個(gè)階段:(1)20世紀(jì)50年代至80年代為技術(shù)開創(chuàng)期出于航天、大規(guī)模集成電路、激光等技術(shù)發(fā)展的需要,美國率先發(fā)展了超精密加工技術(shù),開發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點(diǎn)金剛石切削(Singlepointdiamondturning,SPDT)技術(shù),又稱為“微英寸技術(shù)”,用于加工激光核聚變反射鏡、戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈及載人飛船用球面、非球面大型零件等。(2)20世紀(jì)80年代至90年代為民間工業(yè)應(yīng)用初期在相關(guān)機(jī)構(gòu)的支持下,美國的摩爾公司、普瑞泰克公司開始超精密加工設(shè)備的商品化,而日本的東芝和日立以及歐洲Cranfield大學(xué)等也陸續(xù)推出產(chǎn)品,并開始用于民間工業(yè)光學(xué)組件的制造。但當(dāng)時(shí)的超精密加工設(shè)備依然高貴而稀少,主要以特殊機(jī)的形式訂作。代工超精密精密制造