電阻真空計的原理與應(yīng)用電阻真空計，作為熱傳導(dǎo)真空計的一種，其工作原理是利用測量真空中熱絲的溫度來間接獲得真空度的大小。在低壓環(huán)境下，氣體的熱傳導(dǎo)特性與壓強(qiáng)密切相關(guān)，因此，電阻真空計的關(guān)鍵在于如何準(zhǔn)確測量溫度參數(shù)并建立起電阻與壓強(qiáng)的對應(yīng)關(guān)系。該儀器的主要構(gòu)成部分包括規(guī)管中的加熱燈絲，通常采用電阻溫度系數(shù)較高的鎢絲或鉑絲。電阻真空計通過測量熱絲電阻變化來確定真空度，其結(jié)果依賴于氣體種類且存在測量范圍限制。測量范圍通常在105～10-2Pa之間。掌握常見的真空計種類有利于正確選擇真空計類型。內(nèi)置泵吸式四合一真空計修理
工作原理與分類 根據(jù)物理效應(yīng)差異，真空計可分為以下三大類： 力學(xué)性能類 原理：利用氣體壓力引起的機(jī)械形變或電容變化。 典型儀器：波爾登規(guī)（Bourdon）、薄膜電容規(guī)（測量范圍：101325~133.32Pa）。 特點(diǎn)：適用于腐蝕性氣體和可凝蒸汽。 熱交換類（氣體動力學(xué)效應(yīng)） 原理：基于氣體熱導(dǎo)率隨壓力變化的特性，如皮拉尼真空計通過加熱絲電阻變化推斷壓力（測量范圍：5×10??~1000Pa）。 典型儀器：皮拉尼電阻規(guī)、熱電偶規(guī)。 帶電粒子效應(yīng)類 原理：利用氣體電離產(chǎn)生的電流與壓力成正比的關(guān)系。 典型儀器：熱陰極/冷陰極電離規(guī)（測量范圍：10??~10?1?Pa）。 特點(diǎn)：高精度但易受污染，需避免油蒸氣。愛德克斯真空計進(jìn)貨價世界真空企業(yè)，在皮拉尼真空計的生產(chǎn)工藝上采用白金絲，代替?zhèn)鹘y(tǒng)燈絲。很大提高了產(chǎn)品穩(wěn)定性。
真空計，又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器，其工作原理主要基于氣體在真空條件下的物理效應(yīng)變化。以下是真空計的分類及原理的詳細(xì)介紹：一、分類按照真空計測量原理所利用的不同的物理機(jī)制，可將主要的真空計分為三大類：利用力學(xué)性能的真空計：波爾登規(guī)（Bourdon）：利用細(xì)的銅管受氣體壓力舒展現(xiàn)象，帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使指針指示在不同刻度上，讀出相應(yīng)的氣壓值。其測量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規(guī)：利用不同壓力下金屬膜片受力變形，導(dǎo)致金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量得知?dú)鈮鹤兓＿@種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高，但必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，并需要預(yù)熱數(shù)小時。
真空壓力計有多種類型，包括但不限于以下幾種：熱傳導(dǎo)真空壓力計：利用氣體熱傳導(dǎo)造成的某些結(jié)果（如熱絲溫度、電阻變化）來測量真空度。電離真空計：通過電子碰撞氣體分子使之電離，用測得的離子流來反應(yīng)壓力。壓縮式真空計：先將被測氣體壓縮以提高其壓力，然后測量增高后的壓力，再根據(jù)壓縮比計算出原來的壓力值。薄膜真空計：利用薄膜在真空壓力作用下的變形來測量真空度，如電容式薄膜真空計。U型管真空計：使用歷史**長、結(jié)構(gòu)**簡單的測量壓力的儀器，通過U型管兩端的液面差來指示真空度。數(shù)字式真空壓力計：能夠直接讀取數(shù)字顯示的壓力值，操作便捷，且具有高精度和穩(wěn)定性。對低真空和高真空的測量不能用一種真空計來完成，而應(yīng)采用復(fù)合真空計，較多的是電離與熱偶式復(fù)合真空計。
規(guī)管構(gòu)造主要包括加熱燈絲C與D（通常采用鉑絲）以及用于測量熱絲溫度的熱電偶A與B（多采用鉑銠或康銅-鎳鉻合金）。熱偶真空計利用熱電偶測量熱絲溫度變化，受氣體種類影響，有特定的適用壓強(qiáng)范圍。在測量過程中，熱電偶的熱端與熱絲緊密接觸，而冷端則與儀器中的毫伏計相連，通過毫伏計可以讀取熱偶產(chǎn)生的電動勢。不同氣體的熱傳導(dǎo)性能各異，因此熱偶真空計在測量不同氣體時的結(jié)果會有所差異。為了獲得準(zhǔn)確的結(jié)果，需要對測量結(jié)果進(jìn)行相應(yīng)的修正。此外，熱偶真空計的測量范圍通常在102～10-1Pa之間。與電阻真空計相似，熱偶真空計也具有一定的熱慣性。在壓強(qiáng)發(fā)生變化時，熱絲溫度的改變會存在一定的滯后時間，因此在讀取數(shù)據(jù)時也需要相應(yīng)地滯后一些時間。 部分高精度薄膜真空計是間接測量，只有壓力為105～lOPa時，可直接測單位面積所受的力。泵吸式四合一真空計檢查
真空計(Vacuum gauge)是測量低于一個大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。內(nèi)置泵吸式四合一真空計修理
Torr至大氣壓（760Torr），適合低真空至中真空。優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單、成本低、響應(yīng)快。局限性：對氣體種類敏感（不同氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)不同，需校準(zhǔn)）。高真空下精度下降（因熱傳導(dǎo)主要依賴殘余氣體，信號微弱）。2.電離真空計（IonizationGauge）原理：基于氣體電離效應(yīng)。包括熱陰極電離計（如三極管型）和冷陰極電離計（如潘寧計）。熱陰極型：陰極發(fā)射電子，電子撞擊氣體分子使其電離（產(chǎn)生正離子和電子）。收集極捕獲正離子，形成離子電流，其大小與氣體分子密度成正比。通過測量離子電流推算真空度。內(nèi)置泵吸式四合一真空計修理
