深耕核心工藝 培育半導體行業(yè)“生態(tài)林”

●　本報記者　王婧涵

“保障產(chǎn)業(yè)鏈每一個環(huán)節(jié)都不掉鏈子，是比短期算財務賬更重要的戰(zhàn)略選擇�！敝良兛萍级�事長蔣淵在接受中國證券報記者專訪時，道出了公司在半導體熱潮中的冷靜抉擇。

從高純工藝系統(tǒng)出發(fā)，深耕行業(yè)25年，至純科技已成長為覆蓋“工藝－裝備－材料”的綜合服務商，不僅在濕法設備上實現(xiàn)全工藝覆蓋與訂單突破，還建成了完全國產(chǎn)化的12英寸晶圓對應28納米的大宗氣體供應工廠。蔣淵將這套打法比喻為植樹造林——用攻克最難技術的決心扎下“技術深根”，再用貼近客戶的服務與供應鏈培育行業(yè)生態(tài)，打造能獨立生長、抵御風雨的行業(yè)“生態(tài)林”。

持續(xù)拓展核心能力

“半導體是一個周期性很強的產(chǎn)業(yè)，自2000年成立以來，我們從高純工藝起家，圍繞‘三位一體’的戰(zhàn)略構想，從單一系統(tǒng)集成商向‘工藝－裝備－材料’綜合服務商發(fā)展，不斷擴展能力圈，在集成電路晶圓制造和先進封裝領域提供制程設備、高純工藝設備和系統(tǒng)以及相關的電子材料�！笔Y淵向記者介紹。

作為能力圈的原點，至純科技在系統(tǒng)集成領域通過多年的耕耘，積累了專業(yè)務實、以客戶為中心的決策和執(zhí)行團隊，收獲了高黏性的長期用戶。

蔣淵表示：“高純工藝是半導體制造所有核心工藝得以實現(xiàn)的關鍵支撐環(huán)節(jié)和基礎保障，為核心工序創(chuàng)造穩(wěn)定可靠的環(huán)境。至純科技在高純工藝領域已經(jīng)是國內(nèi)頭部的專業(yè)廠商，我們設計制造和建設的高純氣體設備及系統(tǒng)和高純化學品設備及系統(tǒng)分別服務于干法和濕法工藝用戶，和多家頭部企業(yè)都有緊密合作�！�

在此優(yōu)勢基礎上，公司選擇將研發(fā)投向難度更大、空白點更多的工藝機臺方向。

蔣淵表示，近兩年半導體行業(yè)獲得了極高的市場關注度：“這是機遇也是挑戰(zhàn)。短期內(nèi)企業(yè)有很多方式能快速吸引市場的熱錢和資源，但如果沒有堅定的價值和信念去挑戰(zhàn)更深更難的技術，這種表象上的活力是難以為繼的�！�

“因此，至純科技聚焦攻克最難的技術空白點，堅持以全工藝覆蓋為目標，咬牙完成濕法四個平臺全工藝覆蓋性開發(fā)�！笔Y淵表示，“我們不做機會主義者，而是咬緊牙關，一個節(jié)點、一個節(jié)點地實現(xiàn)技術突破。因為我們相信，在極端情況下，保障產(chǎn)業(yè)鏈的每一個環(huán)節(jié)都不掉鏈子，是比短期算賬更重要的戰(zhàn)略選擇�！�

目前，至純科技布局的濕法設備在產(chǎn)品平臺和工藝搭載上已基本覆蓋了全部濕法工藝。其中，28納米節(jié)點設備開發(fā)已經(jīng)全部完成，全工藝機臺均有訂單；在更先進制程節(jié)點，聚焦先進濕法設備的子公司至微科技也已取得部分工藝訂單。高階設備方面，對于高溫硫酸、FIN　ETCH、單片磷酸等機臺產(chǎn)品，至純科技的交付和驗證進度均處于國內(nèi)領先水平。

在電子材料方面，至純科技大宗氣站的業(yè)務拓展順利。2022年初，至純科技投資和設計建設的國內(nèi)首座完全國產(chǎn)化的12英寸晶圓對應28納米的大宗氣體供應工廠指標完全達標并已持續(xù)穩(wěn)定運行，成功打破半導體級大宗氣站由海外供應商壟斷的格局；2024年，公司第二座服務于客戶12英寸晶圓量產(chǎn)線的大宗氣站已進入運營階段，隨著客戶的產(chǎn)能爬升，將為公司貢獻穩(wěn)定可觀的營收。

“雖然前期資本開支大，但一旦投入運營，大宗氣站至少15年的長期合約能帶來極其穩(wěn)定、可預測的現(xiàn)金流，毛利率隨著運營效率提升而持續(xù)優(yōu)化，是穿越產(chǎn)業(yè)周期的壓艙石�！笔Y淵說。

平衡技術研發(fā)廣度和深度

“公司所有技術研發(fā)和業(yè)務布局目標都是讓企業(yè)的技術和生產(chǎn)能力不斷伸向行業(yè)最核心的地帶，成為產(chǎn)業(yè)鏈的中堅力量。如果用樹來比喻，我希望至純科技能根深葉茂、享受陽光、抗住風雨�！笔Y淵進一步解釋，“技術縱深是企業(yè)的根，這要求我們有明確的戰(zhàn)略方向和戰(zhàn)略定力，有板凳要坐十年冷的決心，在核心的物理、化學原理上持續(xù)深耕，做到確定和極致。應用廣度意味著要持續(xù)保持精進，有敏銳的市場嗅覺、貼近用戶，并主動將共性技術橫向復用到更廣闊的產(chǎn)業(yè)場景中去。”

她認為，企業(yè)在進行技術研發(fā)時需要在技術縱深與應用廣度中尋求平衡：“我們的研發(fā)包括三個層面：立足當下，確保生產(chǎn)設備緊密契合市場與客戶需求；著眼近期，深入客戶一線以預判趨勢并啟動針對性、跟動性研發(fā)；布局長遠，致力于形成面向未來的戰(zhàn)略性技術儲備�！�

截至2025年上半年，至純科技集團已累計申請專利865件（其中發(fā)明專利356件），已授權專利615件（其中發(fā)明專利194件），軟件著作權185件，注冊商標163件，體現(xiàn)了公司的創(chuàng)新發(fā)展能力。

蔣淵表示，公司每個研發(fā)項目都必須經(jīng)過嚴格的評審，從市場需求、技術可行性、財務回報等多個維度進行評估。“但比起財務回報，我們更看重項目的戰(zhàn)略必要性，如能否幫助公司獲得關鍵客戶、打造行業(yè)標桿或突破相關技術等。公司的成熟業(yè)務可以提供穩(wěn)定現(xiàn)金流，為這些前沿技術攻關提供彈藥�！�

不低于50％、不高于65％，是蔣淵為公司投融資部門設下的負債率控制區(qū)間。她表示，負債率設下限是為了保證有足夠的資金投入、抓住發(fā)展機遇，不錯失能力范圍內(nèi)的任何機會；而設置上限，則是為了嚴格管控風險，確保經(jīng)營的穩(wěn)健性。“這是我們基于戰(zhàn)略發(fā)展需要做出的主動且理性的選擇。”她表示。

發(fā)展行業(yè)“生態(tài)林”

“在至純科技創(chuàng)立之初，中國半導體行業(yè)還像一片沙漠，生命零星且沒有適合生存的環(huán)境。隨著行業(yè)不斷發(fā)展，從引進國際設備建設‘人造林’到現(xiàn)在不斷向原生‘生態(tài)林’進化，我們深切地知道伙伴和生態(tài)在行業(yè)中的重要性。”蔣淵表示。

她舉例道，在國內(nèi)高純工藝系統(tǒng)主流12寸晶圓廠的特氣項目中，至純科技的中標率很高，超越了不少國際供應商。

“這并非偶然，在這樣一個看似傳統(tǒng)的領域，我們沒有墨守成規(guī)，而是深刻理解客戶的工藝需求，提供包括參數(shù)設計、安全方案在內(nèi)的整體解決方案。我們建立了覆蓋全國主要半導體聚集區(qū)的現(xiàn)場服務團隊，能提供7x24小時的快速響應。同時還提供TGM（氣體管理）／TCM（化學品管理）駐廠服務，這種客戶優(yōu)先、隨叫隨到的貼身服務，是國際大廠難以比擬的�！笔Y淵說。

過去數(shù)年，至純科技也成立專項工作小組進行本土上游供應鏈培養(yǎng)，在知識產(chǎn)權自主的基礎上，進一步準備好供應鏈自主，為服務本土用戶的快速發(fā)展打好了基礎。

“至純科技的核心價值主張之一是成為客戶首選的供應商，這要求我們成為與客戶一起成長發(fā)展的伙伴。我們的研發(fā)不僅聚焦工藝難題，也致力于通過設備架構創(chuàng)新為客戶創(chuàng)造實際價值。”蔣淵說。