科研人員將機器學習算法引入電子束曝光的參數優(yōu)化中,提高工藝開發(fā)效率。通過采集大量曝光參數與圖形質量的關聯數據,訓練參數預測模型,該模型可根據目標圖形尺寸推薦合適的曝光劑量與加速電壓,減少實驗試錯次數。...
濕法腐蝕是利用腐蝕液和基片之間的化學反應。采用這種方法,雖然各向異性刻蝕并非不可能,但比各向同性刻蝕要困難得多。溶液和材料的組合有很多限制,必須嚴格控制基板溫度、溶液濃度、添加量等條件。無論條件調整得...
雙面鍍膜光刻是針對硅及其它半導體基片發(fā)展起來的加工技術。在基片兩面制作光刻圖樣并且實現映射對準曝光,如果圖樣不是軸向對稱的,往往需要事先設計圖樣成鏡像關系的兩塊掩模板,每塊掩模板用于基片一個表面的曝光...
研究所針對電子束曝光在大面積晶圓上的均勻性問題開展研究。由于電子束在掃描過程中可能出現能量衰減,6 英寸晶圓邊緣的圖形質量有時會與中心區(qū)域存在差異,科研團隊通過分區(qū)校準曝光劑量的方式,改善了晶圓面內的...
研究所針對電子束曝光在大面積晶圓上的均勻性問題開展研究。由于電子束在掃描過程中可能出現能量衰減,6 英寸晶圓邊緣的圖形質量有時會與中心區(qū)域存在差異,科研團隊通過分區(qū)校準曝光劑量的方式,改善了晶圓面內的...
在晶圓鍵合技術的設備適配性研究中,科研團隊分析現有中試設備對不同鍵合工藝的兼容能力,提出設備改造的合理化建議。針對部分設備在溫度均勻性、壓力控制精度上的不足,團隊與設備研發(fā)部門合作,開發(fā)了相應的輔助裝...
燃料電池晶圓鍵合解效率難題。石墨烯-質子膜鍵合構建納米流道網絡,催化效率提升至98%。本田燃料電池車實測功率密度達5kW/L,續(xù)航800公里。自增濕結構消除加濕系統(tǒng),重量減輕40%??焖倮鋯蛹夹g實現...
磁存儲器技術通過電子束曝光實現密度與能效突破。在垂直磁各向異性薄膜表面制作納米盤陣列,直徑20nm下仍保持單疇磁結構。特殊設計的邊緣疇壁鎖定結構提升熱穩(wěn)定性300%,使存儲單元臨界尺寸突破5nm物理極...
研究所將晶圓鍵合技術與第三代半導體中試能力相結合,重點探索其在器件制造中的集成應用。在深紫外發(fā)光二極管的研發(fā)中,團隊嘗試通過晶圓鍵合技術改善器件的散熱性能,對比不同鍵合材料對器件光電特性的影響。利用覆...
將模擬結果與實際曝光圖形對比,不斷修正模型參數,使模擬預測的線寬與實際結果的偏差縮小到一定范圍。這種理論指導實驗的研究模式,提高了電子束曝光工藝優(yōu)化的效率與精細度。科研人員探索了電子束曝光與原子層沉積...
電子束曝光推動高溫超導材料實用化進程,在釔鋇銅氧帶材表面構筑納米柱釘扎中心陣列。磁通渦旋精細錨定技術抑制電流衰減,77K條件下載流能力提升300%。模塊化雙面涂層工藝實現千米級帶材連續(xù)生產,使可控核聚...
電子束曝光開創(chuàng)液體活檢新紀元,在硅基芯片構建納米級細胞分選陷阱。仿血腦屏障多級過濾結構實現循環(huán)腫瘤細胞高純度捕獲,微流控電穿孔系統(tǒng)完成單細胞基因測序。早期檢出靈敏度達0.001%,在肺病篩查中較CT檢...